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    傳臺積電今年將購入18臺EUV光刻機,7nm EUV最快3月量產

    作者: 時間:2019-02-14 來源:芯智訊 收藏
    編者按:來自產業鏈的最新消息稱,臺積電將包攬ASML今年的30臺EUV光刻機中的18臺,加上之前采購的幾臺,臺積電有望在今年3月份啟動7nm EUV的量產,推動7nm在其2019年晶圓銷售中的占比從去年的9%提升到25%。

      目前蘋果A12/A12X、華為麒麟980、AMD Radeon VII等芯片均由代工,不過,目前量產的制程仍是基于DUV(深紫外)工藝。相比之下,雖然三星的目前仍未量產,但是三星則是直接采用了更為先進的(極紫外)工藝,有望領先的7nm 制程。消息稱,三星去年就小規模投產了7nm

    本文引用地址:http://www.czjhyjcfj.com/article/201902/397535.htm

      所以,臺積電要想保持優勢,就必須要加快7nm EUV的進程。而7nm EUV工藝的關鍵在于EUV光刻機,今年ASML(荷蘭阿斯麥)也計劃提高EUV光刻機的產能,以及將年出貨量由之前的18臺提升到今年的30臺。

      而來自產業鏈的最新消息稱,臺積電將包攬ASML今年的30臺EUV光刻機中的18臺,加上之前采購的幾臺,臺積電有望在今年3月份啟動7nm EUV的量產,推動7nm在其2019年晶圓銷售中的占比從去年的9%提升到25%。

      目前,ASML現款EUV光刻機Twinscan NXE: 3400B(今年會有新型號3400C)報價約1.2億美元(約合8億人民幣),也就是說臺積電訂購的這18臺EUV光刻機總價接近150億元。

      此外,臺積電還計劃在今年第二季度啟動5nm工藝的風險試產,值得注意的是,5nm必須采用EUV工藝才能夠實現。

      此前臺積電聯合CEO魏哲家在投資者會議上也曾,2019年上半年晚些時候將會流片5nm,量產時間將會再2020年上半年。



    關鍵詞: 臺積電 7nm EUV

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