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攻克“光源中的光源”，中國有機(jī)會(huì)
- 當(dāng)前，芯片問題廣受關(guān)注，而半導(dǎo)體工業(yè)皇冠上的明珠——以極紫外（EUV）光刻機(jī)為代表的高端光刻機(jī)，則是我國集成電路（IC）產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展必須邁過的“如鐵雄關(guān)”。如何在短期內(nèi)加快自主生產(chǎn)高端光刻機(jī)的步伐，打破國外的技術(shù)封鎖和市場壟斷？筆者認(rèn)為，應(yīng)找準(zhǔn)關(guān)鍵技術(shù)，攻克核心設(shè)備，躋身上游產(chǎn)業(yè)。認(rèn)清光刻關(guān)鍵技術(shù)對于光刻機(jī)，憑什么美國可以左右荷蘭阿斯麥公司（ASML）EUV光刻機(jī)的出海國家？ASML又為什么“愿意”聽從美國的“擺布”？一方面，美國在ASML早期研發(fā)階段給予大力扶持，幫助其獲取最新的研究成果；作為繼續(xù)扶持
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總投資155億 國產(chǎn)CMOS傳感器工廠又迎來一臺(tái)ASML先進(jìn)光刻機(jī)搬入
- 日前國產(chǎn)芯片廠商格科微宣布成功實(shí)現(xiàn)整套ASML光刻機(jī)中的關(guān)鍵設(shè)備——先進(jìn)ArF光刻機(jī)的搬入。據(jù)格科微表示，目前，格科微潔凈室已按計(jì)劃分階段順利驗(yàn)收，相關(guān)廠務(wù)系統(tǒng)配備進(jìn)展順利，共有六十一臺(tái)設(shè)備已經(jīng)搬入。未來，外延、蝕刻、薄膜、清洗等相關(guān)設(shè)備仍會(huì)陸續(xù)搬入。格科微表示，ArF光刻機(jī)的成功引入，是格科微“12英寸CIS集成電路特色工藝研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目”建設(shè)的關(guān)鍵節(jié)點(diǎn)。依托自有工廠即格科半導(dǎo)體的先進(jìn)制程，格科微將進(jìn)一步加快先進(jìn)CIS工藝和高階專利像素的研發(fā)速度，并在自有工廠實(shí)現(xiàn)批量生產(chǎn)驗(yàn)證，從而極大縮短高端產(chǎn)品從研
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光刻機(jī)巨頭阿斯麥 ASML 將于新加坡擴(kuò)建新產(chǎn)線
- 3 月 29 日消息，光刻機(jī)巨頭阿斯麥 ASML 在新加坡一間工廠的開幕式上宣布，將在該工廠興建第二座制造車間，預(yù)計(jì)將于 2023 年初投產(chǎn)。擴(kuò)建后的工廠將讓該公司在新加坡的產(chǎn)能增加 3 倍，全球產(chǎn)能倍增。ASML 是世界領(lǐng)先的科技公司之一，全球半導(dǎo)體價(jià)值鏈的主要參與者。這里設(shè)計(jì)的技術(shù)和機(jī)器有助于在新加坡、韓國或美國生產(chǎn)芯片。世界上最大的芯片制造商們都需要這種設(shè)備。在生產(chǎn)處理器芯片的過程中，EUV 光刻機(jī)最昂貴。目前全世界只有阿斯麥（ASML）能制造出 EUV 光刻機(jī)。在過去的十年時(shí)間里，阿斯麥總共售出大
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ASML發(fā)出產(chǎn)能預(yù)警 芯片制造商面臨先進(jìn)光刻機(jī)供應(yīng)短缺的瓶頸
- 受近年芯片供應(yīng)持續(xù)短缺的影響，我們已經(jīng)看到了位于世界各地的多個(gè)晶圓廠的建設(shè)公告。但是在投入實(shí)際生產(chǎn)之前，這一切都受到荷蘭阿斯麥（ASML）的光刻機(jī)供應(yīng)的限制。ASML 首席執(zhí)行官 Peter Wennink 剛剛發(fā)出警告，稱該公司難以滿足客戶的產(chǎn)品需求。據(jù)悉，ASML 專注于生產(chǎn)適用于半導(dǎo)體行業(yè)的各種類型的光刻機(jī)，且在該領(lǐng)域處于世界領(lǐng)先地位，客戶中包括了英特爾、臺(tái)積電、三星等芯片巨頭。然而最新消息是，至少在未來幾年內(nèi)，ASML 都無法順利交付所有訂單。即使今年預(yù)期的光刻機(jī)出貨量高于去年，但明年的增勢并未放
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ASML的大股東究竟是誰？真的是英特爾、三星、臺(tái)積電？
- 眾所周知，ASML是全球最牛的光刻機(jī)廠商，能夠用于7nm及以下芯片制造的EUV光刻機(jī)，只有ASML能夠生產(chǎn)。而ASML生產(chǎn)的EUV光刻機(jī)，一般也是優(yōu)先供應(yīng)給intel、臺(tái)積電、三星這三家廠商，其它的廠商要等這三家廠商買剩了后，才可能會(huì)輪到。為什么ASML會(huì)優(yōu)先賣給這三家廠商呢？第一是這三家廠商是大客戶，必須要優(yōu)特，第二則是很多人說，這三家廠商是ASML的股東，所以當(dāng)然要先照顧股東。那么問題就來了，ASML的股東究竟是誰，英特爾、三星、臺(tái)積電真的是ASML的股東么？關(guān)于ASML的由來，可以追溯到1984年，
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格科微臨港12吋CIS項(xiàng)目迅速推進(jìn)，ASML先進(jìn)ArF光刻機(jī)正式搬入
- 3月24日上午10:18，在嚴(yán)格遵守防疫政策并做好疫情防控措施的情況下，格科微順利舉辦ASML先進(jìn)ArF光刻機(jī)搬入儀式。格科半導(dǎo)體SVP李朝勇、各部門總監(jiān)、光刻團(tuán)隊(duì)及廠務(wù)團(tuán)隊(duì)出席儀式，共同見證了公司這一里程碑式的重要時(shí)刻。目前，格科微有限公司“12英寸CIS集成電路特色工藝研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目”推進(jìn)迅速。廠房和潔凈車間建設(shè)已經(jīng)基本完成，并于2022年2月16日開始主設(shè)備的搬入安裝。在3月24日，格科半導(dǎo)體再次迎來了建廠重要標(biāo)志性時(shí)刻，整套生產(chǎn)線中的最關(guān)鍵設(shè)備——ASML先進(jìn)ArF光刻機(jī)成功搬入。ArF光刻機(jī)的
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俄烏局勢未解又遇疫情反撲 半導(dǎo)體供應(yīng)鏈雪上加霜
- 俄烏軍事沖突愈演愈烈，加上中國境內(nèi)多座城市新冠疫情反撲，全球半導(dǎo)體供應(yīng)鏈再次亮起紅燈。綜合外媒報(bào)道，由于俄烏局勢持續(xù)緊張，烏克蘭兩家主要氖氣供應(yīng)商Ingas和Cryoin公司工廠暫停生產(chǎn)。氖氣廣泛應(yīng)用于鐳射激光等半導(dǎo)體制程中，這兩家公司每月為中國大陸及臺(tái)灣地區(qū)、韓國、美國、德國客戶提供氖氣，其中約75%用于芯片行業(yè)。兩家公司所在地馬里烏波爾和敖德薩目前被俄羅斯控制，為保護(hù)員工安全停止運(yùn)營。俄羅斯和烏克蘭的氖氣產(chǎn)量占全球的四分之一，半導(dǎo)體制造另一重要原材料稀土金屬鈀40%來自俄羅斯。俄烏事態(tài)持續(xù)激化將令本就
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TrendForce：ASML工廠火災(zāi) 影響EUV光刻機(jī)交期
- ASML位于德國柏林工廠一處，于1月3日發(fā)生火警，該企業(yè)主要為晶圓代工及內(nèi)存生產(chǎn)，所需的關(guān)鍵設(shè)備機(jī)臺(tái)，包含EUV與DUV之最大供貨商。根據(jù)TrendForce的消息，占地32,000平方米的柏林廠區(qū)中，約200平方米廠區(qū)受火災(zāi)影響。該廠區(qū)主要制造光刻機(jī)中，所需的光學(xué)相關(guān)零組件，例如：晶圓臺(tái)、光罩吸盤和反射鏡，其中用以固定光罩的光罩吸盤，處于緊缺狀態(tài)。目前該廠零組件以供應(yīng)EUV機(jī)臺(tái)較多，且以晶圓代工的需求占多數(shù)。若屆時(shí)因火災(zāi)而造成零組件交期有所延后，不排除ASML將優(yōu)先分配主要的產(chǎn)出支持晶圓代工訂單的可能性
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ASML：努力向中國提供一切能夠提供的技術(shù)
- 芯片行業(yè)一直是困擾全球的“卡脖子”領(lǐng)域，而其中核心的光刻機(jī)技術(shù)被幾家公司牢牢的攥在手里。想要在芯片領(lǐng)域有長足的進(jìn)步，光刻機(jī)這種核心設(shè)備就要有所突破。而之前美國通過自身在全球市場的控制能力，通過修改法案等手段一直將光刻機(jī)設(shè)備和技術(shù)限制對中國進(jìn)行輸出。但近期光刻機(jī)頭部企業(yè)ASML則明確表態(tài)將會(huì)盡其所能向中國市場提供一切他們能夠提供的技術(shù)，其中DUV光刻機(jī)將會(huì)不需要認(rèn)可許可即可向中方企業(yè)提供。ASML光刻機(jī)除此之外，ASML表示在當(dāng)前法律框架之下，他們除了EUV光刻機(jī)無法向中方企業(yè)提供，其他產(chǎn)品都可以正常發(fā)售。
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ASML出貨超過100臺(tái)EUV光刻機(jī) 新制程時(shí)代來臨
- 芯研所消息，全球半導(dǎo)體的缺貨，進(jìn)一步激發(fā)了上游半導(dǎo)體設(shè)備廠商的產(chǎn)能，據(jù)外媒報(bào)道截至第二季度，ASML EUV設(shè)備出貨總量達(dá)到102臺(tái)，隨著需求量的提高和客戶群的擴(kuò)大，預(yù)計(jì)2年內(nèi)累計(jì)供應(yīng)量將增加2倍以上，標(biāo)志著EUV時(shí)代正式拉開帷幕。據(jù)統(tǒng)計(jì)，過去四個(gè)季度（2020年第三季度-2021年第二季度），ASML EUV設(shè)備出貨總計(jì)40臺(tái)，較之前四個(gè)季度（2019年第三季度-2020年第二季度）增長了66%。ASML今年的出貨目標(biāo)是40臺(tái)左右，下半年將供應(yīng)25臺(tái)左右。ASML擴(kuò)大EUV設(shè)備供應(yīng)響應(yīng)了半導(dǎo)體制造業(yè)實(shí)現(xiàn)
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單臺(tái)1.5億美元 ASML制造新一代EUV光刻機(jī)
- 據(jù)《連線》雜志報(bào)道，在美國康涅狄格州郊區(qū)的一間潔凈室中，ASML的工程師們正在為一臺(tái)單臺(tái)造價(jià)1.5億美元的新機(jī)器制造關(guān)鍵部件，該部件是新一代EUV系統(tǒng)的組成部分，會(huì)采用一些新技術(shù)來最大限度地減少其使用的光波長，包括縮小芯片的特征尺寸并提升性能。ASML的工程師正在裝配系統(tǒng)組件（圖片來自ASML） 要知道，當(dāng)前的EUV機(jī)器已經(jīng)像一輛公共汽車那么大，包含10萬個(gè)零部件和兩公里長的電纜，運(yùn)輸這些組件需要40個(gè)貨運(yùn)集裝箱、三架貨機(jī)和20輛卡車，能夠買得起這種設(shè)備的公
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生產(chǎn)力提升15% ASML交付首臺(tái)極紫外光刻機(jī)
- 芯研所消息，ASML第一臺(tái)全新TWINSCAN NXE:3600D EUV光刻機(jī)系統(tǒng)已經(jīng)交付給客戶，和前代產(chǎn)品相比生產(chǎn)力提高了約15-20％，套刻精度提高了約30％。據(jù)了解，本次交付的TWINSCAN NXE:3600D EUV光刻機(jī)的EUV光源波長13.5nm左右，物鏡NA數(shù)值孔徑0.33，第二代EUV光刻機(jī)將會(huì)是NXE:5000系列，物鏡NA提升到0.55，進(jìn)一步提高光刻精度。ASML表示，正努力增加EUV光刻機(jī)在存儲(chǔ)行業(yè)的量產(chǎn)應(yīng)用，計(jì)劃協(xié)助三個(gè)DRAM內(nèi)存芯片客戶在未來的工藝節(jié)點(diǎn)中導(dǎo)入EUV。
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高通獲供貨華為許可后，臺(tái)積電、ASML都明白怎么回事了
- 高通獲供貨華為許可在今年6月2日舉辦的鴻蒙系統(tǒng)發(fā)布會(huì)上，華為除了推出備受期待的鴻蒙OS2.0正式版之外，還發(fā)布了好幾款新品。其中最引人注意的就是新款MatePad Pro，它不僅是華為的第一款鴻蒙平板，還透露出了一個(gè)重要信號(hào)：高通已經(jīng)獲得供貨華為許可。之所以這樣說，主要是因?yàn)?0.8英寸的MatePad Pro，搭載的是閹割后的高通驍龍870處理器，不支持5G網(wǎng)絡(luò)，只是一款4G芯片。但這足以證明高通與華為建立了合作關(guān)系，如果沒有得到美國的許可，在相關(guān)規(guī)則的作用下，高通肯定無法向華為出貨。大家都知道，自去年
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為什么ASML加速來華？
- 芯片雖小，制造難度卻很大，而且芯片制造的關(guān)鍵設(shè)備光刻機(jī)的缺乏，更是成為限制我國高端芯片的一大難題。尤其是近兩年華為事件的不斷發(fā)酵，讓我國半導(dǎo)體芯片領(lǐng)域的問題越加明顯，那就是在芯片制造的設(shè)備上，我國依然受制于人的問題相當(dāng)嚴(yán)重。為什么ASML加速來華？北大教授的發(fā)聲很現(xiàn)實(shí)，國產(chǎn)光刻機(jī)突破在即雖然華為研發(fā)出基于5nm工藝的麒麟9000芯片，令一眾對手刮目相看，但是沒有臺(tái)積電為其代工生產(chǎn)，沒有屬于中國自己的高端光刻機(jī)，就等同于一張“紙老虎”。作為中國大陸最先進(jìn)的芯片制造企業(yè)中芯國際，因?yàn)闆]有高端光刻機(jī)，至今仍然沒
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ASML正式承認(rèn)，芯片技術(shù)開始轉(zhuǎn)移
- 在遭遇了西方的芯片技術(shù)封鎖后，我國自主研發(fā)高端光刻機(jī)的呼聲越來越高，雖然近日來很多權(quán)威人士對這樣的做法潑來了冷水，但是國際巨頭ASML卻對國產(chǎn)高端光刻機(jī)的研發(fā)充滿了“信心”。眾所周知，我國在光刻機(jī)研發(fā)領(lǐng)域起步較晚，相比于西方仍然具有較大差距，并且根據(jù)數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，一臺(tái)EUV光刻機(jī)價(jià)值上億美元，并且零件數(shù)量高達(dá)上萬件，分別來自全球5000多家供應(yīng)商。更不利的是，美國、日本、德國都是光刻機(jī)核心零件的主要供應(yīng)國，而目前它們對中國的科技發(fā)展態(tài)度并不友好，所以這也給國產(chǎn)光刻機(jī)零件的供應(yīng)增添了不少難度。即便如此，國產(chǎn)光刻
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