ASML出貨超過100臺EUV光刻機 新制程時代來臨

芯研所消息，全球半導體的缺貨，進一步激發了上游半導體設備廠商的產能，據外媒報道截至第二季度，ASML EUV設備出貨總量達到102臺，隨著需求量的提高和客戶群的擴大，預計2年內累計供應量將增加2倍以上，標志著EUV時代正式拉開帷幕。

據統計，過去四個季度（2020年第三季度-2021年第二季度），ASML EUV設備出貨總計40臺，較之前四個季度（2019年第三季度-2020年第二季度）增長了66%。ASML今年的出貨目標是40臺左右，下半年將供應25臺左右。

根據ASML的說法，5-7nm邏輯半導體（以每月45,000顆晶圓為基準）每個EUV層需要一臺EUV設備，16nm及以下節點DRAM（以每月100,000顆晶圓為基準）每個EUV層則需要1.5-2臺設備。三星電子計劃，到今年下半年為止，將14nm DDR5 DRAM的EUV應用層數從1層增加到5層，SK海力士也計劃增加EUV應用層數，因此，預計EUV設備的需求將進一步增加。

除了EUV層的增加，EUV設備的客戶群也在逐漸擴大。繼2018年三星電子首次引進7nm制程的EUV設備后，臺積電和SK海力士也加入了EUV競爭。美國的美光和英特爾也在推進EUV設備的引進，預計市場規模將進一步擴大。