中電45所與Strasbaugh300mm CMP項目正式簽約

　　3月18日SEMICON China 2009展會第二天，中國電子科技集團公司第45研究所與美國Strasbaugh公司就300mm CMP項目合作舉辦了隆重的簽字儀式，工業和信息化部副部長婁勤儉出席了簽約儀式。

　　45所所長郭永興表示：“300mm晶圓的化學機械拋光是國家重點扶持的項目，也是當前晶圓加工的關鍵設備之一。雙方在這一技術領域的互利合作將大大促進我國關鍵半導體設備的開發推廣及應用，對CMP設備產業化的發展起到積極的促進作用。”

　　Strasbaugh公司在平面技術領域有著60多年的歷史，其半導體材料及IC制造業的拋光研磨技術處于世界領先地位。自從去年與45所簽訂代理協議后，其CMP產品成功地應用在IC制造行業及大學實驗室研究領域。Strasbaugh公司副總裁Michael Kirkpatrick表示，將進一步加強與45所的合作，共同開發中國市場，為300mm CMP項目的合作做出貢獻。