三星被曝將首次外包芯片“光掩模”生產，聚焦ArF和EUV等先進技術

5 月 14 日消息，光掩模（版）系生產集成電路所需之模具，是用于光致抗蝕劑涂層選擇性曝光的一種結構，其原理類似于沖洗相片時利用底片將影像復制到相片上。

韓國科技媒體 TheElec 今日報道稱，三星電子正計劃將內存芯片制造所需的光掩模生產業務進行外包。

據稱，目前三星已啟動供應商評估流程，候選企業包括日本 Toppan 控股子公司 Tekscend Photomask 和美國 Photronics 旗下 PKL（注：廠址位于京畿道），評估結果預計第三季度公布。

TheElec 報道稱，三星準備將低端產品（i-line 365 納米、KrF 248 納米）進行外包，內部僅保留高端光掩模（ArF 193 納米、EUV 13.5 納米），原 i-line / KrF 資源轉向 ArF / EUV 研發。

報道稱，三星決定將光掩模生產外包的原因有很多，主要是三星自家 i-line 和 Krf 設備已經老化，且不再生產，因此很難找到替代設備；而且低端光掩模技術外泄風險較低，三星更愿意集中力量沖擊高端制程建設。

隨著半導體技術越來越先進，電路圖案越來越精細，生產流程中使用光掩模的數量也越來越多。例如 10nm 邏輯芯片需 67 張，而 1.75nm 預計需要 78 張；傳統DRAM 芯片需要 30-40 張，而現在最先進的 DRAM 芯片需要 60 多張。況且，多重曝光技術也進一步增加了光掩模所需數量。