三星首次采用韓國本土EUV光刻膠 打破日企壟斷
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據報道，三星首次引入韓國本土公司東進世美肯（Dongjin Semichem）研發的EUV光刻膠（EUV PR）進入其量產線，這也是三星進行光刻膠本土量產的首次嘗試。在2019年經歷與日本的光刻膠等關鍵原料的供應風波之后，三星就在嘗試將關鍵原料的供應本土化，經過三年的努力，韓國實現了光刻膠本地化生產。
本文引用地址：http://www.czjhyjcfj.com/article/202212/441295.htm
在日本限制出口、三星嘗試重構EUV光刻膠的供應鏈之后，東進世美肯就已開始研發EUV光刻膠，并在去年通過了三星的可靠性測試，隨后不到一年就被應用于三星的大規模生產線。不過，EUV光刻膠可用于3-50道程序，目前也還不確定是用于哪一工藝程序。
同三星電子整體的生產線相比，東進世美肯的EUV光刻膠用于一條工藝線還只是很小的一部分，但對于一種此前100%全部依賴進口的原材料，能用于一條工藝線也有特殊的意義。
由于需要考慮與海外供應商之間的關系等多重因素，目前還不清楚三星是否會將本土EUV光刻膠用于更多的工藝線，預計根據其表現將決定未來的供應是否增加。
光刻膠是指經過紫外光、深紫外光、電子束、離子束、X射線等光照或輻射后，溶解度發生變化的耐蝕刻薄膜材料，是光刻工藝中的關鍵材料，主要應用于積體電路和分立器件的細微圖形加工：當用半導體曝光設備照射光時，會發生化學反應并改變物理性質，通過用顯影劑沖洗掉PR來繪制微電路，只留下必要的部分。
由于東進世美肯成為韓國第一家將光刻膠本地化并達到大規模生產水平的公司，永昌化學和SK材料性能也在開發光刻膠，但它們還沒有達到可靠性驗證的水平。
從整體業態來看，全球光刻膠市場高度集中，日美把控著絕大部分市場份額。日本的JSR、東京應化、信越化學及富士膠片四家企業占據了全球 70％以上的市場份額，壟斷地位穩固。
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