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前英特爾CEO加入光刻技術(shù)初創(chuàng)公司

• 近日，英特爾前CEO帕特·基辛格（Pat Gelsinger）宣布加入xLight，擔(dān)任董事會執(zhí)行董事長，xLight官網(wǎng)上個月也公布了這一消息。xLight是一家面向極紫外（EUV）光刻機(jī)開發(fā)基于直線電子加速器的自由電子激光（FEL）技術(shù)的EUV光源系統(tǒng)的初創(chuàng)公司。xLight雖然規(guī)模很小，但其團(tuán)隊在光刻和加速器技術(shù)領(lǐng)域擁有多年的經(jīng)驗，不僅擁有來自斯坦福直線加速器和其他地方的粒子加速器資深研究人士，其首席科學(xué)家Gennady Stupakov博士還是2024年IEEE核能和等離子體科學(xué)學(xué)會粒子加速器科學(xué)
• 關(guān)鍵字： 英特爾  EUV  ASML  xLight  LPP  FEL  光刻