?單價超19億！搶先臺積電，英特爾訂購ASML全球首臺最新、最先進的EUV光刻機

來源：內容整理自聯合報、快科技

昨日，ASML公布了2021年第4季及全年財報，都創歷年新高且優于預期。ASML并宣布去年底及今年都接獲最新一代高數值孔徑（Hing-NA）極紫外光（EUV），意味ASML在導入 0.55 數值孔徑High-NA EUV 光刻技術的道路上又邁出了一步。
High-NA EUV 是ASML最新一代光刻設備，雖然ASML未透露下單客戶，但因這項設備被業界視為做為未來投入環繞閘極（GAA）技術節點關鍵微影設備，預料下單廠商應是臺積電或三星，從臺積電稍早公布資本支出高達400億到440億美元，且首度揭露用于2nm先進制程投資，這也意味臺積電在2nm有重大突破，并下單采購High-NA EUV，投入2nm研發及試產。
臺積電供應鏈透露，臺積電內部規劃2nm試產部隊于今年第4季正式成軍，這也意味臺積電在先進制程，不會讓三星有任何超車的機會。
不過據了解，三星也緊急搶購一臺High-NA EUV，并要ASML直接拉到三星工廠內進行測試，創下ASML首創直接先出貨再客戶廠內測試的首例，顯見二大廠在先進制程競賽超乎想象的激烈。
ASML 2021年第4季營收為50億歐元，營收凈額為18億歐元，毛利率54.2%，新增訂單金額71億歐元；2021年全年營收達186億歐元，營收凈額59億歐元，毛利率52.7%。
ASML也公布2022年第一季財測，預估營收凈額約33億到35億歐元，毛利率約49%。ASML計劃宣布2021年每股普通股5.5歐元的總股息 (年增率達100%)。
針對柏林工廠部分建筑物火災的影響評估，ASML表示，根據目前資料評估，柏林工廠的火災不會對2022年的系統出貨產生重大影響，因此，ASML預估該公司2022年的營收凈額仍可比2021年增長約20%。
ASML總裁暨執行長溫彼得 (Peter Wennink) 表示，ASML第4季的營收達到50億歐元，符合財測；由于強勁的升級與服務收入挹注，2021年的毛利率達到54.2%，優于財測。
溫彼得進一步指出，去年第4季的新增訂單金額達到71億歐元，其中26億歐元來自0.33 NA和0.55 NA EUV系統訂單。
他說，對ASML來說，2021年是強勁成長的一年。2021年ASML總營收達186億歐元，其中的63億歐元來自于42臺EUV系統。
展望2022年，溫彼得指出，客戶對ASML的系統出貨需求高于我們的生產能力。終端市場的強勁需求為ASML客戶帶來量產更多晶圓的壓力。為了支持客戶，ASML提供客戶在既有機臺上的高生產力升級方案，另一方面也正在努力優化工廠的生產周期、增加機臺出貨量。其中一種縮短生產周期的方法是略過在工廠進行測試項目，加速出貨流程，直接在客戶端進行最終測試和正式驗收。盡管這些出貨量的營收認列將被推遲到客戶正式接受之前，但確實為我們的客戶爭取更早獲得晶圓產能的機會。
ASML預期2022年第一季的營收約落在33億歐元到35億歐元間，毛利率約49%，研發成本約7.6億歐元，管銷費用約2.1億歐元。溫彼得表示：「調降第一季財測的主因是: 大量的快速出貨導致約20億歐元的收入將推遲至后續季度認列。同時，目前預期有6臺EUV的系統認列將遞延遲至2023年。盡管如此，綜觀2022年，公司預計全年營收成長仍將達到20%。
單價超19億Intel全球首個下單訂購ASML最先進EUV光刻機
1月19日最新消息，Intel宣布第一個下單訂購了ASML TWINSCAN EXE:5200光刻機。
TWINSCAN EXE:5200是ASML的高數值孔徑EUV光刻機，其吞吐量超每小時220片晶圓（wph）。
從路線圖來看，EXE:5200預計最快2024年底投入使用，2025年開始大規模應用于先進芯片的生產。
事實上，4年前，ASML的第一代高NA（0.55 NA）光刻機EXE:5000，Intel就是第一個下單的公司。不過當前的7nm、5nm芯片還并非是其生產，而是0.33NA EUV光刻機。
和0.33NA光刻機相比，0.55NA的分辨率從13nm升級到8nm，可以更快更好地曝光更復雜的集成電路圖案，突破0.33NA單次構圖32nm到30nm間距的極限。
外界預計，第一代高NA光刻機EXE:5000會率先用于3nm節點，至于EXE:5200，按照Intel的制程路線圖，2025年至少是20A或者18A，也就是5nm和5nm+。
此前，ASML發言人曾對媒體透露，更高的光刻分辨率將允許芯片縮小1.7倍、同時密度增加2.9倍。未來比3nm更先進的工藝，將極度依賴高NA EUV光刻機。
最后不得不說，Intel能搶到第一單，除了和ASML一致緊密合作外，當然也是因為“鈔能力”，Gartner分析師Alan Priestley稱，0.55NA下一代EUV光刻機單價將翻番到3億美元（約合19億元人民幣）。