中國首臺商用電子束光刻機揭幕

8月13日，我國首臺自主研發的商用電子束光刻機“羲之”在浙江余杭正式揭幕。

根據杭州政府網站的報道，這臺機器是浙江大學技術轉化基地簽署的第一個項目之一。它已經在客戶現場進行了測試，精度與主流國際設備相當。這一里程碑標志著量子芯片研發現在有了自己的“中國刻刀。”

研發團隊的一名成員解釋說，西馳專注于量子芯片和下一代半導體研究的核心階段。它使用高能電子束在硅基板上“手繪”電路，實現0.6納米的精度和8納米的線寬。其設計可以靈活修改，無需掩模，就像用納米級的畫筆直接在芯片上繪畫一樣——特別適合芯片開發早期階段所需的迭代調試。

此前，此類設備受到國際出口管制的限制，導致中國頂尖科研機構如中國科學技術大學和中浙實驗室無法采購。“羲之”的推出有望跨越這一障礙，目前已有多個科研機構正在進行討論。

西齊電子束光刻機的成功應用測試，在國內高端半導體核心設備的發展上是一個重大突破。這款自主研發的“中國刻刀”將為加速國內先進芯片的研發、確保未來技術的戰略優勢奠定堅實基礎。