北方微電子：半導體設備業以完全自主為目標

　　?一些關鍵半導體設備取得了長足的進步，從2000年落后國外先進水平5代，縮短為現在的1～2代。

　　?國內半導體設備將逐步實現對國外產品的完全替代。

　　半導體仍未形成產業鏈

　　半導體產業的發達程度是衡量一個國家科技生產力強弱的重要標志之一。目前中國的半導體產業還很薄弱，無論是工業基礎還是人才力量以及國家的投入都屬于初級階段，距離世界先進水平還有很大距離。可以說目前我國的半導體產業仍然未形成產業鏈，所以不管是設備還是材料都談不上什么支撐，即使是材料和設備業本身也缺乏國內基礎工業和本土人才的支撐。從長遠看，要在中國形成一條完整的產業鏈，還需要國家大量的資金投入和行業的技術積累，并且出臺政策鼓勵設計、制造、設備、材料等產業鏈重大環節的自主創新和產品開發。

　　由于中國半導體產業的上游設計和制造業相對落后，在國際市場上缺乏競爭力，國內IC制造大廠如中芯國際等的客戶仍然以國外客戶為主，而很多制造商本身的生產技術也處于國際的低端水平，所以很難對下游的國產設備和材料業形成有效支持，這就導致了設備業缺乏最終用戶的指導和市場機會，這是設備業難以支撐的首要原因。第二個原因是制造大廠將大量的設備需求都給了國外的公司，這使得國產設備難以做大。當然，中國的IC設備起步較晚，技術上落后較多，勉強達到跟蹤國外先進水平，不足以在產品上取得明顯領先的優勢，從而在國外設備占得先機的情況下，難以取而代之，這也是國產設備業發展舉步維艱的第三個主要原因。

　　關鍵設備取得長足進步

　　隨著國家啟動專項的支持和推進，一些關鍵半導體設備也取得了長足的進步，從2000年落后國外先進水平5代，縮短為現在的1～2代，至少我們有幾種設備可以在大生產線上替代國外設備。但是僅僅有幾臺設備國產化是遠遠不夠的，國家仍然沒有整線制造的能力。要形成具有自主能力的完整設備線和提供支撐的完整零部件產業鏈，還需要各個設備商共同、繼續的努力。而事實上，我們目前即使可以國產半導體設備，但超過設備30%的關鍵零部件還不具備國產化能力，仍然需要進口，使得國產設備的完全自主仍然十分艱難。這制約了國產設備的發展，需要盡快改變這種局面。

　　經歷了半導體產業的高速發展期，目前半導體技術節點提升進入了物理瓶頸。在此種背景下，市場的選擇是28～22納米為主，65～45納米為輔開發新產品，這種現象應該會持續3～5年。而更先進的8～5納米技術很可能會顛覆整個半導體產業現有技術和設備，能否被制造業接受還很難說。立足國內的現狀，設備業應該瞄準未來5年內仍然占據國內IC制造業主導地位的28～22納米技術完善產品，使其符合產業需求，力爭國內新市場。同時自主開發16～14納米設備，為2014年16～14納米新技術導入捕捉機會。

　　產業鏈健全期待政策扶持

　　工藝技術節點的不斷進步，以及新材料如碳化硅、納米材料等的出現，對設備業和材料業提出了更高的要求，希望國家盡快出臺相關政策支持設備業、材料業企業加大人才引進和資金投入力度，同時以設備業、材料業企業為龍頭和樞紐，扶持培養零部件基礎產業鏈。另外，可以由政府牽頭，加強設備、材料和上游設計制造行業的企業聯系，設備業加強自身的技術實力，開發適合市場的產品提供給上游的制造企業，提升設備、材料企業的自我造血機能。

　　未來，從產業發展角度講，作為整個半導體產業的基礎，設備和材料業應該以建立健全各自產業鏈、達到完全自主制造為目標，逐步實現對國外產品的完全替代。設備商作為系統集成技術的掌握者和用戶，應該是國家資金支持的主體，然后根據設備本身完全國產化的需要，去有的放矢地培養扶持優質國產零部件制造商，而不是本末倒置，把資金放給零部件制造單位。這些零部件研發單位既不知道設備商的技術需求，又不知道市場的需求節點，完全閉門造車。

　　目前的半導體設備和材料在IC制造業客戶的導入和銷售都需要國家具體政策和資金的長期扶持，給設備制造商和制造業客戶以信心和保障。