摘要：本文通過大量的文獻資料，評述汽車MEMS（微機電系統）傳感器的應用現狀及發展趨勢，其中重點介紹幾種傳感器的原理和結構，同時對該領域的產業化也進行了探討。
關鍵詞：汽車傳感器、微機電系統、力敏器件。
一、引言
MEMS是在集成電路生產技術和專用的微機電加工方法的基礎上蓬勃發展起來的高新科技，其研究開發主要集中在微傳感器、微執行器和微系統三個方面，目前主導MEMS市場的傳感器已形成產業。用此技術研制的五花八門的微傳感器具有體積小、質量輕、響應快、靈敏度高、易生產、成本低的優勢，可以測量各種物理
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MEMS 傳感器
最近幾年來MEMS（Micro Electro MECHANICAL Systems）技術在國內外得到了迅猛的發展，MEMS產品已經有了開拓性的應用，MEMS產業鏈將會迅速掘起，預計2007年全球MEMS元器件銷售總額將突破70億美元。
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半導體 MEMS
汽車電子控制系統的“正常運轉”離不開傳感器的保駕護航，通過傳感器可將各種諸如壓力、流量、位置、高度、距離、速度、轉速、溫度等信號傳遞到動力系統、安全系統等控制單元，達到汽車正常駕駛的目的。
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傳感器 IC MEMS
電子產品世界,為電子工程師提供全面的電子產品信息和行業解決方案,是電子工程師的技術中心和交流中心,是電子產品的市場中心,EEPW 20年的品牌歷史,是電子工程師的網絡家園
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MEMS ADXL330
飛思卡爾半導體建成先進的微機電系統(MEMS)200-mm(8-inch)生產線來滿足不斷增長的傳感器市場需求。這套新生產線是在飛思卡爾設在德克薩斯州奧斯汀的Oak Hill Fab建成的，是對公司在日本仙臺的現有150-mm(6-inch) MEMS生產線的補充。
隨著MEMS傳感器市場的持續增長，大批量MEMS生產技術仍顯得至關重要。飛思卡爾在生產基于MEMS的傳感器方面已有25年以上的歷史，是業界領先的大批量傳感器提供商，可提供全面的加速、壓力和接近傳感器。借助可實現全面的傳感、控制、連接
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飛思卡爾 半導體 MEMS MCU和嵌入式微處理器
中國傳感器近年來，通過技術引進與改造，中國大陸敏感元件及傳感器業已形成一定的產業基礎與生產能力，MEMS等5項新型傳感器已列入研究開發的重點。據信息產業部科技情報研究所編制的《2006～2007年中國電子廠商名錄》統計，目前中國大陸有455個從事敏感元件及傳感器生產的廠商，所涉及企業多達1,400多家，呈現出良好的發展態勢，但綜合實力較強的骨干企業較少。目前，能批量生產的產品涉及光敏、電壓敏、熱敏、力敏、氣敏、磁敏和濕敏7大類，約3,000多個品種。據中國電子元件協會統計，2006年中國大陸傳感器產品
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傳感器 MEMS 傳感器 執行器
美國高通公司的全資子公司高通MEMS技術有限公司今天宣布，韓國KT Freetel(KTF)公司宣布選擇高通公司基于MEMS的 mirasol ™顯示技術用于其SHOW WCDMA監控系統。KTF是韓國最大的電信運營商之一，也是韓國首家WCDMA無線運營商。KTF公司和高通公司將在2008年國際消費電子展的高通公司合作伙伴展區(南3號館，展位號30340)上展示該SHOW監控系統。
KTF的SHOW監控系統利用3G WCDMA將SHOW攝像裝置拍攝的實況視頻傳輸到指定的移動電話，是進
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高通 MEMS KTF 音視頻技術
當今世界發達國家對傳感器技術發展極為重視，視為涉及國家安全、經濟發展和科技進步的關鍵技術之一，將其列入國家科技發展戰略計劃之中。因此，近年來傳感技術迅速發展，傳感器新原理、新材料和新技術的研究更加深入、廣泛，傳感器新品種、新結構、新應用不斷涌現、層出不窮。
微型化速度加快
值得特別關注的是近年來隨著集成微電子機械加工技術的日趨成熟，傳感器制作技術進入了一個展新階段。微電子技術和微機械技術相結合，器件結構從二維到三維，實現進一步微型化、微功耗，并研究把傳感器送入人體，進入血管，研究稱分子的重
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傳感器 MEMS 芯片 傳感器
微機電系統(MEMS)在發展了近四十年后，近來因為游戲機(Wii、PS3)、手機(iPhone)、MP3(iPod touch)等消費性電子產品的應用，終于劃下時代性的一刻，成功打入產量最大的消費性市場。這對于微機電產業來說無疑是值得慶賀的時刻，因為有太多的研發心力已投入這項將微機械與微電子工程融合的微機電設計訴求之上，如今總算看到令人欣慰的一些成果。
當然，這仍然只是MEMS進軍更廣泛市場的一個開端，打開這個市場的功臣即是加速度計(accelerometer)。在本文中將會對加速度計的技術及應
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0712_A 雜志_技術長廊 MEMS 微機電系統 嵌入式
世界領先的微機電系統（MEMS）器件供應商意法半導體（紐約證券交易所代碼：STM）今天公布一個新的三軸模擬輸出傳感器解決方案，進一步加強了該公司的尺寸極小的“低g”線性加速計的產品陣容。新產品LIS344AL是一個注重成本的MEMS解決方案，在電路板上的占位面積非常小，功耗低，特別適合電池供電和空間受限制的便攜設備，如手機、便攜媒體播放器、PDA或遙控器。 新產品在一個封裝內整合了一個強健的三軸MEMS傳感器和一個CMOS接口芯片，不論設備的方位如何，三軸傳感功能都能提供傾斜和運動的信息。 LIS344A
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ST 模擬輸出加速計 MEMS 消費電子 消費電子
電子科技的發展到了今天，有關數字運算與訊號處理的能力，已經達到了所謂「信息革命」的效果。如此輝煌顯著的成就，將會持續帶動社會型態與生活習慣的改變，這應該也是毋庸置疑的一件事
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MEMS 電子感測組件
日前，RF Micro Devices(RFMD)宣布推出專有微機電系統 (MEMS) - 面向 RF 及其他應用的技術。RFMD 期望其專有的 MEMS 技術將在 RF 及其他應用中實現突破性的性能及空前水平的功能整合。
RFMD 推出的第一批 RF MEMS 器件將是面向 3G 多模手機的 RF MEMS 發送/接收開關及 RF MEMS 模式開關。通過極大減小產品占位面積并提高效率，從而延長手機通話時間，RFMD 的 MEMS 開關技術將有助于加速 3G 部署。當與面向前端解決方案(GaA
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嵌入式系統 單片機 RFMD RF MEMS RF IF
益登科技所代理的系統單芯片聲學系統領先開發商Akustica日前宣布，其數字傳聲器產品銷售量已突破兩百萬大關，這是該公司繼三個月前突破百萬銷售量后的另一重要里程碑。Akustica自從推出首款和獲獎的AKU2000數字傳聲器后，在短短的15個月內就將銷售量增至百萬以上。今天，移動個人計算機對高質量語音輸入的強勁需求促使Akustica再度推出3款數字傳聲器，同時快速提升產能以滿足客戶要求。 A
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消費電子 Akustica CMOS MEMS 數字傳聲器 消費電子
2007年10月23日，美國高通公司的全資子公司高通MEMS技術部和和普及型便攜式消費設備的開發商Ubixon有限公司今天在2007美國無線I.T.和娛樂展上宣布與Audiovox配件公司合作，向市場推出業界首款直視MEMS顯示器。Audiovox配件公司的Acoustic Research ARWH1耳機是首款采用高通公司干涉測量調制(IMOD)顯示器的產品。ARWH2耳機的廠商建議零售價(MSRP)為99.99美元，將于2007年11月在各零售店上市，正值假日季節前夕。
高通MEMS技術部針
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消費電子 高通 MEMS 藍牙 無線網絡
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