2009 Globalpress電子峰會：MEMS的增長點在哪里

　　就在電子峰會的當天，Kionix向市場推出了最新的KXTF9三軸加速器，整合了Kionix公司單叩擊/雙叩擊(directional Tap/Double-Tap)接口，通過嵌入在KXTF9傳感器的ASIC內的算法來實現。該特性最多可以創建12種獨特的輕叩命令來實現專用功能。單叩擊/雙叩擊通過檢測物體6個面(±X、±Y和±Z)的任何一個面上是發生了單擊，還是雙擊來實現響應功能(圖1)。該算法使得加速器能夠辨別單/雙擊和叩擊發生在哪里。除了I2C接口以外，KCTF9的特性還包括用戶可編程輸出數據速度、按用戶定義采樣速率執行的A/D轉換、可選8位或12位分辨率、用戶可選加速度范圍(2g、4g和8g)和截止頻率用戶可選的數字高通濾波器。

　　其實，目前手機等便攜產品上最亮眼的MEMS應用是微型投影機。Microvision市場銷售副總裁Ian Brown在峰會上演示了名為SHOW的微型(7×20×40 mm)投影產品，可以投影出對角線12英寸至100英寸的畫面，畫面的分辨率達到WVGA (848×480)， 支持200%的NTSC色彩。讓Ian頗為自豪的是，和TI的DLP或者LCoS相比，PicoP顯示引擎的動態范圍更高，達到10000:1。 Microvision把其中的核心技術稱為PicoP顯示引擎，其中最關鍵的器件就是雙向MEMS掃描鏡，它聯接到兩個小的彎曲(flexure)，通過縱向和水平震蕩進行逐個像素的捕捉(成像)或者復制(顯示)圖像(圖2)。