SEZ 的300-MM 設(shè)備首次成功登陸中國(guó)市場(chǎng)

    SEZ（瑟思）集團(tuán)于今日宣布：第一臺(tái)SEZ的300-mm設(shè)備- Da Vinci™達(dá)芬奇系統(tǒng)-已經(jīng)銷(xiāo)往中國(guó)。一家領(lǐng)先的中國(guó)制造商購(gòu)買(mǎi)并安裝了該套設(shè)備。

    大量的行業(yè)資料表明，消費(fèi)類(lèi)電子元器件在中國(guó)的蓬勃發(fā)展使得中國(guó)市場(chǎng)已經(jīng)稱(chēng)為全球成長(zhǎng)最快的半導(dǎo)體市場(chǎng)，預(yù)計(jì)在未來(lái)幾年中其迅速的增長(zhǎng)速度還將繼續(xù)領(lǐng)先于所有的國(guó)家和地區(qū)。當(dāng)這一地區(qū)的半導(dǎo)體制造正在向300-mm逐步衍變之時(shí)，世界知名的半導(dǎo)體芯片制造廠對(duì)SEZ的300-mm DV系列設(shè)備的采購(gòu)，為SEZ搶灘中國(guó)單晶圓市場(chǎng)的份額創(chuàng)造了重要的契機(jī)。

    SEZ亞太區(qū)首席運(yùn)營(yíng)官“Herwig Petschnig評(píng)論說(shuō)：“這一訂單象征著SEZ集團(tuán)相當(dāng)重要的里程碑，另外作為集團(tuán)在中國(guó)半導(dǎo)體市場(chǎng)銷(xiāo)售的第一套300-mm 系統(tǒng)設(shè)備，該芯片制造廠商采購(gòu)的DV系列設(shè)備同時(shí)也是我們?cè)谥袊?guó)安裝的第20套設(shè)備。這一采購(gòu)行動(dòng)具有重大意義，它延續(xù)了SEZ公司和這一重要客戶(hù)的合作關(guān)系，使我們深感振奮。”

    在向著更大幅度的成本縮減、更好的產(chǎn)品良率、更高的生產(chǎn)力的行業(yè)發(fā)展趨勢(shì)的驅(qū)策下，自2003年7月Da Vinci系統(tǒng)平臺(tái)面世以來(lái)，市場(chǎng)對(duì)它的接受急速增長(zhǎng)。SEZ已經(jīng)在全球范圍內(nèi)安裝了多套Da Vinci 系統(tǒng)，預(yù)計(jì)2005年，這一產(chǎn)品系列的銷(xiāo)售額將超過(guò)公司整體銷(xiāo)售額的50%。

    希望了解SEZ單晶圓系統(tǒng)全部系列更多信息的讀者，歡迎蒞臨SEZ公司在半導(dǎo)體中國(guó)（SEMICON China）的4019號(hào)展臺(tái)（地址：上海新國(guó)際博覽中心，時(shí)間：3月15日到17日）

Da Vinci系列

    Da Vinci （達(dá)芬奇）系列是創(chuàng)新的、可量產(chǎn)的單晶圓處理平臺(tái)，它的研發(fā)是用于滿(mǎn)足用于90-nm及其更小的元器件幾何尺寸下，200-mm和300-mm晶圓量產(chǎn)時(shí)后道工藝過(guò)程（BEOL）聚合物的清除、晶圓背面的蝕刻和清洗，以及新興的應(yīng)用，諸如高k（介電常數(shù)）電介質(zhì)、金屬門(mén)極、鐵電存儲(chǔ)（FRAM）和磁隨機(jī)存儲(chǔ)（MRAM）技術(shù)等新制程的要求。Da Vinci系統(tǒng)提供了可實(shí)現(xiàn)的設(shè)計(jì)、高產(chǎn)能以及準(zhǔn)確的晶圓清洗，從而幫助芯片制造商獲得最大的器件良率。