諾發(fā)推出300mm VECTOR等離子增強化學(xué)氣相沉積平臺的最新增強版本

　　中國上海—諾發(fā)系統(tǒng)有限公司正式推出VECTOR Express™新產(chǎn)品。VECTOR Express™是諾發(fā)公司300mm VECTOR等離子增強化學(xué)氣相沉積（PECVD）平臺的最新增強版本。VECTOR Express的工藝生產(chǎn)速度提高了40%，保持了業(yè)界領(lǐng)先的生產(chǎn)效率。此外，VECTOR Express還建立了薄膜工藝性能的新標(biāo)桿，使該設(shè)備能夠被延伸到45nm及以下工藝節(jié)點。

　　VECTOR Express之所以能夠顯著提高生產(chǎn)效率和改善薄膜工藝性能，其關(guān)鍵在于SmartSoak™工藝新特點。SmartSoak采用了諾發(fā)VECTOR平臺獨特的多平臺順序處理（MSSP）結(jié)構(gòu)，使晶圓加熱和薄膜淀積過程相互獨立開來。通過這種方法可以使晶圓溫度在薄膜開始沉積時變得更加穩(wěn)定和一致，同時還能夠縮短薄膜沉積的時間。

　　客戶評估結(jié)果顯示，將具備SmartSoak技術(shù)的VECTOR Express系統(tǒng)用于500Å TEOS薄膜沉積時，0.08um大小的微粒缺陷水平是所有類似產(chǎn)品中最低的。進行40Å柵側(cè)壁氧化膜沉積時，薄膜厚度控  
制水平在1個原子層之上，表明該系統(tǒng)在晶圓內(nèi)部以及晶圓與晶圓之間的薄膜厚度控制上具有非常出色的可重復(fù)性表現(xiàn)。

　　除了SmartSoak之外，VECTOR Express還采用了高精度和高速度的機械傳送零部件和晶圓自動監(jiān)測技術(shù)，使晶圓機械傳送和處理時間縮短了20%以上。此外，VECTOR Express還采用了先進的材料傳輸新技術(shù)，進一步確保該系統(tǒng)能夠被拓展到各種薄膜沉積工藝中。

　　自從于2006年第3季度開始進行beta測試以來，諾發(fā)已經(jīng)收到了20多份有關(guān)VECTOR Express系統(tǒng)的訂單，其中包括好幾個新客戶。VECTOR Express將于2007年第2季度正式用于生產(chǎn)。