一種新型MEMS微波功率傳感器的設計與模擬
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2．2 S參數(shù)模擬
本文中的傳感器是利用共面波導作為待測微波信號的傳輸線將其引入到測量系統(tǒng)中，其特性阻抗為50 Q。為了將微波信號轉化為熱量，在CPW 的末端配以四個純阻性負載電阻，每個電阻的阻值均為200 Q。對于微波信號而言，四個200 Q的是并聯(lián)的，因而形成50 Q的負載，與CPW 的特性阻抗相等，從而達到阻抗匹配的效果。
使用高頻模擬軟件HFSS模擬了傳統(tǒng)結構和三明治結構的回波損耗S 模擬中使用的傳感器結構參數(shù)與上面相同，模擬結果如圖5所示。
圖5(b) 使用H上t 模擬的S11
(A 曲線為三明治結構；B曲線為傳統(tǒng)結構)
從圖5(b)可以看出，三明治結構與傳統(tǒng)結構的回波損耗基本一致，在1～6 GHz的頻率范圍內，三明治結構的S 小于一30 dB，在6～2O GHz的頻率范圍內，S 小于一20 dB，保持了較小的損耗，顯示了良好的匹配特性。
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