射頻源控制信號(hào)模擬器的設(shè)計(jì)與應(yīng)用

作者：時(shí)間：2016-06-22 來(lái)源：網(wǎng)絡(luò)

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　　摘要：熟悉微電子工藝設(shè)備的人都知道，射頻源(RFGENERATER)是半導(dǎo)體工藝不可缺少的設(shè)備，其主要應(yīng)用于等離子體干法刻蝕設(shè)備。

本文引用地址：http://www.czjhyjcfj.com/article/201606/292982.htm

　　熟悉微電子工藝設(shè)備的人都知道，射頻源(RFGENERATER)是半導(dǎo)體工藝不可缺少的設(shè)備，其主要應(yīng)用于等離子體干法刻蝕設(shè)備。其原理是刻蝕氣體(主要是F基和C1基的氣體)通過(guò)氣體流量控制系統(tǒng)通入反應(yīng)腔室，在高頻電場(chǎng)(頻率通常為13.56MHz)作用下產(chǎn)生輝光放電，使氣體分子或原子發(fā)生電離，形成等離子體(Plasma)。等離子體是包含足夠多的正負(fù)電荷數(shù)目近于相等的帶電粒子的非凝聚系統(tǒng)。而射頻源正是產(chǎn)生高頻電場(chǎng)的核心設(shè)備。

　　目前市場(chǎng)上，一臺(tái)新的干法刻蝕設(shè)備使用的射頻源售價(jià)大概在1萬(wàn)美金左右，而維修一臺(tái)射頻源的費(fèi)用一般也要1萬(wàn)元人民幣以上，可見(jiàn)其費(fèi)用相當(dāng)昂貴。本著節(jié)約成木的原則，本單位對(duì)在使用中出現(xiàn)故障的射頻源進(jìn)行自主維修。為了檢驗(yàn)維修后該射頻源是否可以滿足使用要求，根據(jù)其使用原理及其控制信號(hào)的輸入、輸出情況，自發(fā)研制了射頻源遙控收發(fā)信號(hào)模擬器。該設(shè)備研制成功后，改變了以往射頻源維修后必須上機(jī)調(diào)試的狀況，從而實(shí)現(xiàn)了脫機(jī)調(diào)試，達(dá)到了省時(shí)省力、節(jié)約成本的目的。

　　2 設(shè)計(jì)方案

　　為了達(dá)到對(duì)射頻源脫機(jī)調(diào)試的目的，主要是實(shí)現(xiàn)模擬原設(shè)備主機(jī)PRMOTE控制功能，包含以下幾點(diǎn)：

　　(1)對(duì)射頻源是否開(kāi)啟的判定;

　　(2)對(duì)連鎖功能(interlock)的判定;

　　(3)對(duì)射頻源輸出功率的設(shè)定;

　　(4)對(duì)射頻源正向功率的測(cè)量;

　　(5)對(duì)射頻源反向功率的測(cè)量。

　　首先對(duì)面板進(jìn)行設(shè)計(jì)，參照射頻源面板的主體結(jié)構(gòu)，結(jié)合實(shí)際功能要求，面板外觀見(jiàn)圖1。

　　從面板設(shè)計(jì)圖中可以看到，面板功能鍵包含有射頻功率開(kāi)關(guān)鍵、連鎖功能(interlock)測(cè)試鍵、射頻源輸出功率設(shè)定旋鈕、射頻源正/反向功率測(cè)量開(kāi)關(guān)以及復(fù)位鍵，另外面板上還有顯示屏和指示燈。其電路圖見(jiàn)圖2。