傳感器及檢測技術的發展

傳感器及檢測技術的發展現代信息技術的三大支柱是傳感器技術、通信技術和計算機技術, 它們分別完成對被測量的信息提取、信息傳輸及信息處理。目前, 信息傳輸與處理技術已取得突破性進展, 然而傳感器的發展相對滯后。在今天信息時代, 各種控制系統對自動化程度、復雜性以及環境適應性(如高溫、高速、野外、地下、高空等)的要求越來越高, 需要獲取的信息量也越來越多,它不僅對傳感器測量精度、響應速度、可靠性提出了很高的要求, 而且需求信號遠距離傳輸。

.新型傳感器的開發這是發展高性能、高功能、低成本和小型化傳感器的重要途徑。制作此類傳感器是利用各種物理、化學效應和定律。新型傳感器層出不窮，如利用量子力學諸效應研制的高靈敏閥傳感器，響應速度極快的紅外傳感器，光纖傳感器等。高靈敏閥傳感器可用來檢測極微弱的信號，紅外傳感器是利用光子滯后效應制作的，有響應速度極快的優點。

.傳感器的集成化

傳感器的集成化是利用集成電路制作技術和微機械加工技術將多個功能相同、功能相近或功能不同的傳感器件集成為一維線型傳感器或二維面型(陣列)傳感器；或利用微電子電路制作技術和微型計算機接口技術將傳感器與信號調理、補償等電路集成在同一芯片上。前一種集成具體

可分為三種類型：

1. 將多個功能相同的敏感元件集成在同一芯片上，檢測被測量的線狀、面狀、甚至體狀的分布信息。

2. 將多個結構相似、功能相近的敏感元件集成在同一芯片上，在保證測量精度下擴大傳感器的測量范圍。

3. 將多個不同功能的敏感元件集成在同一芯片上，使傳感器能測量不同性質的參數，實現綜合檢測。微傳感器一般是指敏感元件的特征尺寸從幾μm到幾mm的這類傳感器的總稱, 它包括三種結構形式：

1、微型傳感器，通常它是單一功能的簡單傳感器，其敏感元件工藝一般與集成工藝兼容。

2、具有微機械結構敏感元件的機電一體化的微結構傳感器。

3、具有數字接口、自檢、EPROM (CPU)、數字補償和總線兼容等功能的微傳感器系統。

.傳感器的智能化、網絡化智能傳感器系統采用微機械加工技術和大規模集成電路技術，利用硅作為基本材料制作敏感元件、信號處理電路、微處理器單元，并把它們集成在一塊芯片上，故又稱

集成智能傳感器(Integrated Smart/ Intelligent Sensor)。智能傳感器系統具有自檢測、自補償、自校正、自診斷、遠程設定、狀態組令、信息儲存和記憶等功能。

.檢測技術的發展

隨著世界各國現代化步伐的加快，對檢測技術的要求越來越高。目前，現代檢測技術發展的總趨勢大體有以下幾個方面：

1. 不斷拓展測量范圍，努力提高檢測精度和可靠性

2. 傳感器逐漸向集成化、組合式、數字化方向發展

3. 重視非接觸式檢測技術研究

3. 檢測系統智能化