我國多晶硅生產工藝有了革命性進步

　　11月18日，河北英利集團對外宣布，旗下六九硅業有限公司多晶硅一期項目首次采用新硅烷法生產多晶硅，使我國多晶硅生產工藝有了革命性的進步。

　　據六九硅業有限公司生產部副經理康譚介紹，與國內大多數多晶硅生產廠家不同，該項目首次采用的新硅烷法生產多晶硅，具有其他傳統工藝方法無可比擬的節能、環保等巨大優勢。新工藝生產中不產生難處理的四氯化硅等廢棄物，同時綜合耗電可降低38%，生產成本降至28美元/千克左右，大大低于行業平均水平;產品純度最高可達到9N(99.9999999%)以上，超出了光伏企業產品純度達6N的要求。

　　據了解，目前行業內生產多晶硅主要有兩大工藝路線：改良西門子法和硅烷法。國內大多數廠家采用了前者。然而，該方法生產過程中，會排出四氯化硅、氯化氫等尾氣，其工藝雖然已經從第二代逐漸升級到第三代，但四氯化硅處理的核心技術不在國內，且成本高昂。而新硅烷法最大特點就是采用閉環生產，不對環境造成污染。生產中不產生四氯化硅，并且采用3種回收工藝，分別將副產物氟化鋁鈉、氫氣、硅烷加以回收，用作原料投入再生產，最終生成高純的多晶硅和硫酸鹽兩種產品。業內有關人士評價，對國內整個光伏產業而言，新硅烷法提供了一種新的工藝路線，對國內多晶硅產業的影響將是革命性的。

　　據六九硅業有限公司技術部經理蔡春立介紹，六九硅業廠區內的尾氣回收系統所占面積幾乎相當于生產準備區。系統每小時可回收氫氣53.6千克，回收的氫氣將用于氫化鋁鈉生產，年可節約1336萬元;液氮氣化回收3.76萬噸，年節約1000多萬元;CVD反應器余熱產生的蒸汽每小時可達1668立方米，循環回收利用年可節約資金3807萬元。

　　目前，六九硅業有限公司多晶硅3000噸項目已經開始試車，多晶硅反應器的熱油系統、四氟化硅制備區的熱烘循環系統等均已啟動，兩大關鍵部位目前運轉正常，年底可試生產。