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芯源微廣州子公司光刻膠泵及高純供液系統產業化項目開工

• 4月25日，沈陽芯源微電子設備股份有限公司（以下簡稱“芯源微”）廣州子公司——廣州芯知科技有限公司半導體設備光刻膠泵及高純供液系統研發及產業化項目開工儀式在廣州舉行。據官網介紹，芯源微成立于2002年，是由中科院沈陽自動化研究所發起創建的國家高新技術企業，專業從事半導體生產設備的研發、生產、銷售與服務，致力于提供半導體裝備與工藝整體解決方案。芯源微所開發的涂膠機、顯影機、噴膠機、去膠機、濕法刻蝕機、單片清洗機等產品，已形成完整的技術體系和豐富的產品系列，產品適應不同工藝等級的客戶要求，廣泛應用于半導體生產
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