- MEMS第一輪商業化浪潮始于20世紀70年代末80年代初，當時用大型蝕刻硅片結構和背蝕刻膜片制作壓力傳感器。由于薄硅片振動膜在壓力下變形，會影響其表面的壓敏電阻走線，這種變化可以把壓力轉換成電信號。后來的電路則
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發展歷史 技術 MEMS
- 預計在末來幾年超低成本手機(ULCH)市場會迅速增長。RF設計將是ULCH的關鍵。
靈敏度是關鍵
就系統而言，靈敏度是ULCH的1個關鍵參量，它直接涉及到收發器的性能。這是因為系統靈敏度直接影響所需的網絡基礎架構的投資和實際用戶的感受。可以始終如一地接收較小信號的手機將具有較好的語音清晰度和較少的通話破壞(如服務可達性問題和失掉通話)。較好的靈敏度能改善給定蜂窩內的手機有效范圍(包括蜂窩邊沿)并為衰減條件提供較好的抗擾度。ULCH市場的網絡經營商可以選擇在基站和相關基礎架構設備中從最小的資
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ULCH RF CMOS
- 隨著移動裝置(如蜂窩電話，PDA，筆記本電腦)包括更多多模和多頻段無線連接，以及成本、空間和功耗的限制，使得對每個通信標準都采用1個分離的無線收發器變得不再適用。
最新的GSM電話已是4頻段，擴展網絡覆蓋到五大洲。很多移動電話也包含藍牙技術和Wi-Fi 連接。很快，它們可接收數字地面電視、數字音頻廣播和GPS衛星信息，頻帶上升到無線USB的UWB(超寬帶)和移動因特網接入的 WiMax。這需要便攜裝置在接近6GHz整個帶寬接收無線傳輸。
至今，專用于每個通信管道的分離RF收發器和基帶電路工
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GSM RF FCC Wi-Fi
- 衛星通信也許是最有挑戰性的混合信號高可靠性的應用。不僅僅用在衛星中的元件必須經受寬范圍的溫度和輻射考驗，而且所有的元件必須有高水平性能和可靠性。現在，空間應用完全進入商業領域，所以，衛星市場所用的器件和元件的價格及尺寸大小也是關鍵因素。也許最關心的是功率。用UltraCMOS工藝(在藍寶石襯底上的絕緣體硅工藝)制造器件比用GaAs和體CMOS相比，衛星系統設計人員實現了無比的靈活性，改善了性能和功耗。
在空間應用中有幾種關鍵混合信號(模擬或RF和數字)器件，包括PLL(鎖相環頻率合成器)、IF集
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混合信號 RF
- 在仿生推進機理的研究中，精確測量魚類尾鰭拍動參數對于魚類仿生推進機理研究及工程應用具有重要的意義;然而，目前研究者大多采用分析高速攝像機拍攝的圖像獲得參數的觀測方法。這種方法受到環境與設備的限制，結果精確度較差。本設計是一種基于MEMS器件的生物運動微慣性測量裝置。利用該裝置實現了對SPC-III機器魚尾鰭拍動參數的精確測量，為國內首次利用MEMS器件進行的活體魚尾鰭拍動參數測量實驗打下了基礎，為機器魚仿生推進設計理論提供支撐。
1 設計要求和系統結構
根據活體魚類的生物特征和實驗本身的特
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ARM MEMS
- 本文介紹一款能測量CW RF 信號源等效功率的功率計RSSM 8309，其主要工作原理是測出調制信號的包絡電壓，通過其斜率進一步計算出dB值，最后采用直觀的方式為用戶顯示測量值。圖1是該儀器的方框圖。為了吸納已知電阻上的輸入功率，輸入匹配網絡是必不可少的，同時用它將不平衡信號變換為完全平衡信號，這是因為解調型對數放大器AD8309工作于差分模式。ADI公司生產的AD8309是該儀器的核心器件，它不僅能產生正比于輸入電壓dB值的輸出電壓，同時還將信號解調，也就是說某種檢波器。AD8309的輸出電壓經12
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CW RF AD8309 ADC RSSM8309 微控制器
- 基于MEMS的閃耀光柵數字微鏡顯示技術是一種全新的顯示技術, 它的基本工作原理為：平行的復合白色光線以固定的入射角照射在閃耀光柵微鏡陣列上，驅動電路驅動每個像素單元的閃耀光柵微鏡偏轉不同角度，在特定的衍射方向上得到的R、G、B以及不可見波長的光線經過成像鏡頭后形成彩色畫面。
微鏡結構設計的基本要求
閃耀光柵數字微鏡顯示技術的核心部件是閃耀光柵數字微鏡。要達到便攜應用和投影應用的目的，閃耀光柵數字微鏡結構設計需滿足以下基本要求。
盡可能減小顯示單元的尺寸
為了得到準確的基色，要求
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MEMS 閃耀光柵數字微鏡 結構 驅動
- 摘要：傳感器技術是信息社會的四大支柱之一，傳感器和計算機結合形成的智能系統大大的拓展了人類生活的空間。在傳感器家族中，根據電容的物理特性制作的傳感器占有重要地位。電容傳感器是很好的狀態傳感器，可提高電容檢測，尤其是微小電容檢測的精度，是目前測控技術的熱點。本文重點介紹一套微小電容差分高精度檢測電路，該套電路可測物體的運動加速度，加速度計的分辨率可達2-18。
關鍵詞：電容式傳感器；MEMS；信號調理；檢測電路
電容式傳感器工作原理
? 電容式傳感器分單電容式和差分電容式二種。如圖
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單電容式 差分電容式 MEMS 傳感器 200803
- 1 引言
大氣壓力傳感器在工業生產、氣象預報、氣候分析、環境監測、航空航天等方面發揮著不可替代的作用。傳統的壓力傳感器一般為機械式，體積比較大，不利于微型化和集成化。利用MEMS技術不僅可以解決上述缺點，還能極大地降低成本，而性能更為優異。如今基于MEMS技術得到廣泛應用的壓力傳感器主要有壓阻式和電容式兩大類，壓阻式壓力傳感器的線性度很好，但精度一般，溫漂大，一致性差;電容式壓力傳感器與之相比，精度更高，溫漂小，芯片結構更具魯棒性，但線性度差且易受寄生電容的影響。目前MEMS電容式壓力傳感器多用
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MEMS
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