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    NanoPhotonics向ISMI出貨450mm晶圓檢測設備
    
                                                            
      
                    	
    •         據Semiconductor International網站報道，NanoPhotonics與ISMI簽訂合約，將向ISMI出貨兩臺用于450mm晶圓的缺陷檢測設備。
        這兩臺設備分別是Reflex MC 450和BevelCam MC 450，兩臺設備將和450mm設備前端模塊一同集成于ISMI 450mm協同測試試驗臺。
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    • 關鍵字：
                        NanoPhotonics  ISMI  晶圓                          
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