- 泛林集團與阿斯麥 (ASML) 和比利時微電子研究中心 (imec) 共同研發的全新干膜光刻膠技術將有助于提高EUV光刻的分辨率、生產率和良率。
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泛林 EUV 干膜光刻膠技術
干膜光刻膠技術介紹
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