智能IMU增長快，Fairchild九軸MEMS蘊含多種技術

　　據IHS，IMU(慣性測量單元)預計2019年將達到20億件市場規模，主要應用于增強現實與虛擬現實、智能手機、無人機、自動機器人/掃地機器人、智能手表和健身腕帶、3D人體跟蹤等。IMU對整體算法要求較高，因為傳感器往往是六軸、九軸等多軸產品。

　　為了適合這種發展趨勢，近日Fairchild公司推出 FIS1100六軸 MEMS IMU，集成了專有的AttitudeEngine運動處理器以及九軸傳感器融合算法，實現了低至1/10的處理功耗，可用于支持運動、采用電池供電的應用中。

　　飛兆半導體市場發展總監陳俊稱，結合 XKF3 傳感器融合算法后，FIS1100 成為首款符合定位(四元素)規范的完整消費電子慣性測量裝置，具有±3°的俯仰和側滾準確度，以及±5°的偏航準確度。

　　另外，FIS1100 采用 Fairchild 的專有 MEMS 工藝，專門針對慣性傳感器而設計。該工藝包括業界領先的 60 μm器件層(注：MEMS與AttitudeEngine之間)，具有高縱橫比、硅通孔 (TSV) 互聯和垂直電極，以及具有雙真空設計的獨特單芯片陀螺儀和加速計。

進軍MEMS的背景

　　Fairchild是一家電源類公司，此次之所以推出傳感器類產品，源于對Xsens(傳感器融合算法XKF3)、Jyve(MEMS陀螺儀初創公司)等公司的收購。Fairchild 董事長和首席執行官 Mark Thompson 指出：“Fairchild 推出首款 MEMS 產品，這是個關鍵的里程碑，意味著公司將獨特設計和制造專長應用到除電源以外的系統級解決方案。憑借因收購Xsens獲得的先進算法和深度應用技術，我們支持客戶開發針對各類快速增長的細分市場(如消費電子、工業和健康)的先進運動解決方案。”