Edwards新型大容量渦輪分子真空泵最大化提升性能

　　Edwards有限公司(Edwards Limited)是一家全球領先的真空設備和尾氣處理系統制造商及相關增值服務提供商，該公司日前推出了其STP-iXA4506大容量渦輪分子泵 (TMP)。這款產品旨在為半導體、平板顯示器、LED和太陽能電池板制造商節省更多成本。

　　Edwards公司 TMP產品營銷經理Shinichi Yoshino 表示：“新型STP-iXA4506渦輪泵是擁有改良抽氣性能的一體化解決方案。它采用了Edwards最新的轉子設計和成熟且高度可靠的iXA系列機載控制器，使容許通過的氣量最大化，從而使高流量過程所需的渦輪泵數量減至最小，尤其是在太陽能和平板應用中。泵集成的控制器免去了對線纜和獨立控制器機架的需求，因而也節省了成本，體積緊湊易于在各種應用中快速安裝。此外，就像我們所有的磁浮式渦輪泵一樣，無需機械軸承的特性幾乎免除了定期維護的成本。”

　　這款渦輪泵的高抽速度(4300 l/s N2) 和高流量(高達4300 sccm N2)結合其有效抽吸輕氣體和重氣體的能力，使STP-iXA4506非常適用于許多不同的大流量、高流動性應用，包括半導體蝕刻、LCD蝕刻、玻璃鍍膜、太陽能PVD和PVD鍍膜。其高度集成的設計包括一個完全密封的電子模組，以在最嚴苛的工廠環境中實現穩健、可靠的操作。需要時還可增加一套加熱系統，以減少來自工藝過程中副產物的沉積物和微粒的堆積。