集成化智能化，MEMS傳感器前景廣闊

隨著我國汽車電子、新型數字消費電子和醫療電子等產業的快速發展，國內市場對傳感器的需求呈現出快速增長的態勢。據中國電子信息產業發展研究院預測，未來五年國內傳感器市場年復合增長率將超30%。汽車、物流、礦業探勘、煤礦安監、安防、RFID標簽卡領域的傳感器市場增長較快?？傮w來看，中國傳感器市場前景廣闊。

　　在此背景下，以MEMS為代表的智能傳感器技術得到了快速的發展。與傳統的傳感器技術相比，MEMS體積小、重量輕、成本低、能耗低、可靠性高、易于批量生產、智能化高。現在正處于高速發展期。而作為微機械IC行業的先鋒，ADI公司20多年來一直都是MEMS創新產品的領導者，不僅提供全面的慣性檢測解決方案，包括iMEMS加速度計和陀螺儀、iSensor? 智能傳感器以及慣性測量單元（IMU）；同時MEMS技術還簡化了運動檢測在工業、醫療、消費電子、通信和汽車等眾多領域中的應用，深受全球的市場領先公司歡迎。

　　MEMS芯片結構，檢測加速度和旋轉

　　ADI微機械產品線高級應用工程師趙延輝表示，眾多新興機遇的涌現客觀上促進MEMS技術的創新。技術發展的主要趨勢為：強調MEMS的系統性和傳感器、處理與識別的協調發展，突破傳感器同信息處理與識別技術與系統的研究、開發、生產、應用和改進分離的體制，按照信息論與系統論，應用工程的方法，同計算機技術和通訊技術協同發展。

　　趙延輝 ADI微機械產品線高級應用工程師

　　MEMS技術在未來的發展主要表現在以下幾個方面：第一，微型化的同時降低功耗。將會出現微米甚至納米級別的微型器件，同時降低功耗；第二，微型化的同時提高精度，將MEMS加速度計做到石英加速度計的噪聲特性，保證MEMS陀螺儀小體積的同時獲得光纖陀螺儀的零偏穩定性，且可提供遠優于光纖陀螺儀的抗沖擊特性；第三，集成化及智能化趨勢，即MEMS與IC的集成制造技術及多參量MEMS傳感器的集成制造技術得到發展，以及在集成化基礎上使得信號檢測具有一定的自動化。這些趨勢要求半導體廠商提供更高精度、穩定性更好、更智能的高集成度MEMS傳感器模塊?；诖?，ADI繼續將重點放在開發MEMS傳感器的核心技術，以提供最好的工業級加速度計和陀螺儀。同時，ADI還將繼續提供更多高集成度的MEMS傳感器，以適應不同市場的需求。

　　在具體應用領域，趙延輝介紹到，ADI可以針對不同的運動監測，提供完整的信號鏈解決方案。比如振動監測，一般需要三軸加速度傳感器，而后用ADC采樣加速度數據，再用CPU對加速度數據做FFT處理，以分析振動頻率，而這些功能都可以用我們一顆芯片如ADIS16228實現。再比如導航應用，一般需要三軸的加速度計來測量速度和位移，三軸的陀螺儀來測量航向角，俯仰角，滾轉角的變化，三軸的磁力計來測量初始方位，一個氣壓計來測量高度變化，傳統的解決方案是需要用戶自己搭建正交系統，而后再做傳感器調理，補償，校準等工作。現在只需要用ADI的十自由度IMU如ADIS16480即可實現單芯片的解決方案。

　　ADIS16480：10自由度高精度MEMS IMU

　　同時，ADI的MEMS產品不只是關注基本運動檢測或新穎的功能，更關注至關重要的系統性能參數，安全和可靠性，以及在極端環境下的芯片性能。比如我們新一代的四核陀螺儀ADXRS453， ADXRS646等，可以提供出色的振動抑制特性，在有外界振動干擾的情況下依然可以保證精度輸出。再比如我們的雙軸加速度計ADXL206，在高溫175°C的環境下，依然可以保持靈敏度，噪聲和零點精度等關鍵性能。