資騰科技在Semicon China 2024展示ESG創新力，推出優化半導體制程產品

佳世達集團羅升企業旗下資騰科技（Standard Technology Corporation）參加Semicon China 2024展覽，展示多項協助優化半導體制程的創新產品，如超潔凈金屬氣體過濾器、超高精度光阻涂布泵等。該展覽于3月20日至22日在上海新國際博覽中心舉行，資騰科技的展位位于N3館3145號。資騰科技總經理陳國榮表示，因應全球ESG、第三代半導體等趨勢需求，今年資騰科技將展示一系列針對半導體制造行業的創新產品，旨在提高制程效率、減少環境負荷，并支持產業的永續發展。以下是其中幾項亮點產品：

1.超潔凈金屬氣體過濾器：次世代奈米工廠必備，金屬燒結微米級不銹鋼（SUS 316L）短纖維制成薄層金屬膜過濾器，皺褶狀設計增加過濾面積。專為Load lock chamber排氣過濾而設，縮短排氣時間，提高機臺5-8%的稼動率。

2.超高精度光阻涂布泵：適用于半導體黃光制程光阻涂布，以及其他需要精確控制藥液噴吐量的應用場景。幾乎零藥液浪費，可與半導體設備（如SVG、DNS、TEL、SUSSTECH、EVG等）匹配使用。提供氣缸式和馬達式控制，穩定性高且壽命長。資騰提供在地實時服務支持。

3.非接觸型渦漩式吸筆：資騰自主研發，利用伯努利原理吸取薄片晶圓或是光學組件，避免晶圓或是光學組件表面刮傷，提高晶圓傳送效率和穩定性。具有客制化和價格優勢，目前已有SiC與光學組件廠客戶銷售實績。

資騰科技充分考慮大陸市場特性和全球趨勢，針對ESG、第三代半導體、新建晶圓廠和設備國產化等領域提出不同的解決方案。通過強大的產業實踐經驗和技術能力，與合作伙伴攜手，共同促進半導體產業的創新未來。

【展覽信息】

SEMICON CHINA 2024 展覽時間

2024年3月20-22日 09:00am - 5:00pm

地點: 上海新國際博覽中心

資騰展位: N3館Booth: 3145(靠近3號Entrance)