氖氣價(jià)格“過山車”式飆升，三星吃不消考慮用回收氖氣：明年滿足 75% 光刻需求

IT之家 3 月 8 日消息，由于俄烏沖突，氖氣價(jià)格自 2022 年以來一路飆升，2021 年韓國(guó)進(jìn)口價(jià)格為 58 美元 / 升，而 2022 年飆升至 1612 美元 / 升。最新消息稱三星現(xiàn)在計(jì)劃在芯片生產(chǎn)中使用回收的氖氣。

根據(jù) The Korea Economic Daily 報(bào)道，三星正考慮從明年開始，在芯片生產(chǎn)中使用回收的氖氣，這也讓其成為業(yè)內(nèi)首家在光刻工藝中使用回收氖氣的公司。

報(bào)道進(jìn)一步指出，三星電子已與當(dāng)?shù)匾患也牧瞎韭?lián)手開發(fā)相關(guān)裝置，用于從激光廢料流中捕捉氖氣，并通過提純等方式回收氖氣。

三星計(jì)劃明年開始在光刻過程中使用回收氖氣，占比 75%。

根據(jù)韓國(guó)海關(guān)總署的數(shù)據(jù)，2023 年韓國(guó)氖氣進(jìn)口總量將達(dá)到 102782 升，進(jìn)口額達(dá)到 1680 萬美元（IT之家備注：當(dāng)前約 1.21 億元人民幣）。

氖氣是一種稀有的惰性氣體，也是光刻工藝中不可或缺的原材料。它用于產(chǎn)生激光，將電路圖案轉(zhuǎn)移到基板上，同時(shí)也廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體以及顯示器等其他行業(yè)。