中科院院士王曦帶領團隊制備國際一流的SOI晶圓片

　　在許多人眼中，中科院院士、中科院上海微系統與信息技術研究所所長王曦既是一位具有全球視野的戰略科學家，也是一位開拓創新而又務實的企業家。他帶領團隊制備出了國際最先進水平的SOI晶圓片，解決了我國航天電子器件急需SOI產品的“有無”問題，孵化出我國唯一的SOI產業化基地。

　　他在上海牽頭推進了一批半導體重大項目——12英寸集成電路硅片項目有望填補我國大尺寸硅片產業空白。3月23日，王曦榮獲上海市科技功臣獎。

　　從下圍棋中得到啟發

　　空間輻射會對衛星造成影響，王曦團隊制備出國際一流的SOI晶圓片，解決了這一問題。SOI技術被稱為“21世紀的硅集成電路技術”，王曦打了個比方：“這就像是三明治，在兩層硅的中間，包裹著一層二氧化硅。”最上面的硅既要薄，還要均勻，比如12英寸硅片的均勻度，相當于從巴黎到上海的一次飛行，其振動幅度不能超過1.5厘米。2001年7月，王曦提出把這一技術推向市場，建成了我國第一條SOI生產線。這引起了美國硅谷《半導體商業新聞》的注意，他們驚呼：中國出現了一個現代化的SOI工廠。

　　王曦喜歡下圍棋，因為只要善于謀篇布局，做的“勢”就會越來越大。在推進上海半導體產業發展這盤“棋”時，王曦一直在應勢布局。目前全球僅五家企業有能力量產12英寸大硅片，我國市場100%依賴進口。缺少這一材料，我國集成電路產業就還只是停留在中低端水平。2013年6月，王曦和中芯國際創始人張汝京共同建言，在上海啟動12英寸大硅片的研發。應運而生的上海新昇科技有限公司，去年實現大硅片量產，銷售近10萬片。

　　跨越科技成果轉化“死亡之谷”

　　曾經在硅谷創辦了兩家公司的楊瀟在創建上海微技術工業研究院時，為是否要企業化運作感到糾結，當時最大的困難就是經費問題，而最簡單的辦法是成立事業單位。王曦卻下定決心要探索企業化的新路徑，來跨越科技成果與產業界之間的“死亡之谷”。如今這一共性化技術平臺，已實現85%的收入來自產業化。

　　上海硅產業投資有限公司執行副總裁李煒與王曦共事20年，對其運籌帷幄的能力感佩不已。2001年王曦帶領6個博士創立新傲公司，當時的家底是1300萬，現在的市值是13億，增加了100倍;2016年，占全球高端硅材料市場70%份額的法國公司Soitec，由于副業經營不善瀕臨破產，王曦看中其硅材料的生產能力，由上海硅產業投資有限公司對其參股。當時的股價成本是9.2歐元，現在最高時漲到了70歐元，投資回報率達600%。

　　讓科學家心無旁騖做研究

　　去年9月26日，張江實驗室掛牌成立，王曦擔任主任。“我一直有個夢想，讓科學家心無旁騖做研究。接下來，張江實驗室會有許多體制機制創新，包括科研經費的使用。”王曦比過去更忙碌了，同事們形容他的工作節奏是“5+2”“白加黑”，凌晨兩三點收到他發來的郵件再正常不過。

　　“中國的蓬勃發展成就了上海微系統所走過的傳奇之路。”王曦說，當年為了把SOI晶圓片賣出去，他們想和法國公司Soitec談合作，結果對方不予理睬，只能在對方公司門口留個合影。如今，王曦成為了這家公司的董事。過往已經歸零，明日征途漫漫。“我以前是無知無畏，現在雖然有困難，但看到了方向，也就更加有激情。”