何為4200-SCS集成ACS軟件？

直接將ACS安裝至4200-SCS的嵌入式PC中能讓功能強大 的ACS集成測試系統兼有兩者優點。小尺寸但功能強大的 4200-SCS測量硬件結合了ACS軟件的全自動化特性，能在極小的封裝中實現令人印象深刻的測試功能和自動化。使用案例非常廣并且包括：

• 技術開發：當技術開發工程師需要進行各種過程分割時， 用以確定過程的操作困境并從每片晶圓和多片晶圓的測 試結構中獲取參數數據。

• 參數功能測試：當需要在多片晶圓上的多個器件上進行 無人干預的參數測試但高吞吐量相對于測試成本和易用 性而言是次要時。

• 定制建模工具：當建模工具需要很多種器件的參數測量 結果，然后將結果移植至建模軟件，進行分析并建立器 件軟件模型時。 ACS能完全訪問和控制4200-SCS上的最新脈沖和PIV軟 /硬件，包括吉時利開發(和獲專利權)的軟件，例如4200 -PIV-A包。這能讓系統執行全量程直流、CV和脈沖源和測 量。此外，為擴展測試方案功能并滿足測試需要，此系統可以輕松地增配由ACS軟件控制的CV儀表、開關矩陣或其 它外部硬件。

精密實驗室設備和全自動功能降低測試成本 在成本較低的臺式測試儀(但具有業內領先的測試和測量能力)中加入重要的自動化功能便能明顯降低測試成本。ACS系統非常適于 能產生大量數據的應用，但不是對吞吐量敏感應用，例如大容量最終測試。通過直觀的設置和操作簡化操作人員的任務，并且最小化 測試過程的人工干預還能顯著降低測試成本。最小配置如圖1所示。

圖1. 4200-SCS運行ACS軟件和自動探測器便足以執行多種直流和脈沖參數 自動化測試

結論

面市時間延長和測試成本壓力增大意味著測試工程師必須用更 少的投入做更多的事。利用吉時利久經驗證的儀器和測量，ACS集 成測試系統填補了基于交互式實驗室工具與高吞吐量生產測試工具 之間的空白。 在這種情況下，讓ACS運行在4200-SCS半導體特性分析系統中是 將實驗室級參數測量提升至更高級的自動化并降低測試成本的一種理想方法。運行高質量自動測試的小尺寸集成測試儀器能幫測試工 程師在測試過程中以最短設置時間和最少人工干預完成大量的測試 和數據——采用非常經濟有效的封裝。強大、靈活的分析、演示和 報告工具簡化了測試后續工作。