離子滲氮電源中的滅弧措施

摘要：論述了離子滲氮電源中幾種常用的滅弧方式，分別介紹了其工作原理，并對其滅弧性能作出了分析對比。
關鍵詞：離子滲氮電源滅弧

1引言

離子滲氮是利用氣體輝光放電原理，使氮離子轟擊鋼鐵表面，使其加熱，并使氮原子滲入工件表層的一種表面強化技術。在離子滲氮過程中，由于某種原因使輝光放電轉變為弧光放電，這就會中止滲氮過程，嚴重時能熔燒工件表面，甚至損壞電源設備。滲氮件表面的清洗、烘燒等措施雖可減少弧光放電的次數，但在滲氮的初期階段，仍不可避免地會有弧光放電發生，故離子滲氮電源必須帶有滅弧措施，滅弧性能是離子滲氮設備的重要指標之一[1]。

2打弧信號的檢測

正常的離子滲氮過程工作在輝光放電區，但當打弧時，全部電流集中在某一小面積上，引起此處電流密度增加，如果電弧是集中在某一點上，則表現為極間電壓迅速下降，而電流急驟上升，電壓下降至200V左右。根據打弧時發生的現象，打弧信號可由以下參數進行判斷[2]：

（1）電流上限信號；

（2）電流上升微分信號di/dt；

（3）電壓下限信號；

（4）電壓下降微分信號dv/dt。

實驗表明，電壓的下降是迅速的，它超前于電流最大值到來的時間，此時間差約為1ms～1.5ms。通常多種檢測方式同時采用。當發生轉弧時，電壓降低、電流上升的幅度均不大，電壓微分與電流信號不易取出，一般用斯密特觸發器取電壓下限信號進行滅弧。

3幾種常用滅弧方法的原理及特點

31串聯大阻值電阻

在滲氮電源的陰陽極電路中串聯大阻值電阻，當發生打弧時，電流猛增，在電阻上產生很大的電壓降，從而使正負極間電壓低于點燃電壓，使電弧不能維持，同時也限制了電弧電流不至于過大。這對于中小功率是可行的，但是對于大功率設備在串聯電阻上的功耗太大，所以大功率設備的滅弧不能只靠串聯電阻[3]。為了減少在穩輝電阻上的功耗，將其改為可變的，即剛剛起輝時，打弧頻繁，可串聯大電阻，待輝光放電穩定后，將電阻減小，以得到較大的電流。即使這樣，對額定電流超過10A的設備在生產中應用還有一定的困難。

32電流截止負反饋滅弧

嚴格說來，固定某一值的電流截止負反饋并不是滅弧，因為在大功率設備中，電流截止值往往在幾十安培以上，這樣大的電流已經足以維持穩定的電弧放電，而不會自動熄滅。當電流達到一定上限后，控制電路關閉觸發脈沖并維持一定的時間，待弧源消除后，又重新開通。由于晶閘管觸發后必須等電壓換相時才能關斷，因此在半周期內電流值可能達到很大，這種滅弧方法的滅弧時間約為10ms。由于一般電源都有一定的過載能力，故對保護電源是有效的，所以采用晶閘管電源時，這種限流方法是必不可少的。采用截止值隨工作電流可調的方法，可使反應時間提前，并減少弧光放電電流。如果采用電流微分負反饋，對電流的變化進行超前控制，可明顯地增強輝光放電的穩定性。

圖1LC振蕩滅弧電路

圖2LC振蕩滅弧波形