MEMS壓力傳感器及其應用

　　MEMS壓力傳感器的應用

　　MEMS壓力傳感器廣泛應用于汽車電子：如TPMS(輪胎壓力監測系統)、發動機機油壓力傳感器、汽車剎車系統空氣壓力傳感器、汽車發動機進氣歧管壓力傳感器(TMAP)、柴油機共軌壓力傳感器;消費電子，如胎壓計、血壓計、櫥用秤、健康秤，洗衣機、洗碗機、電冰箱、微波爐、烤箱、吸塵器用壓力傳感器、洗衣機、飲水機、洗碗機、太陽能熱水器用液位控制壓力傳感器;工業電子，如數字壓力表、數字流量表、工業配料稱重等。

　　典型的MEMS壓力傳感器管芯(die)結構和電原理如圖7所示，左是電原理圖，即由電阻應變片組成的惠斯頓電橋，右是管芯內部結構圖。典型的MEMS壓力傳感器管芯可以用來生產各種壓力傳感器產品，如圖8所示。MEMS壓力傳感器管芯可以與儀表放大器和ADC管芯封裝在一個封裝內(MCM)，使產品設計師很容易使用這個高度集成的產品設計最終產品。