碳化硅8英寸雙線圈感應(yīng)爐，恒普科技重磅發(fā)布兩個新爐型
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半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)網(wǎng)獲悉：2022年7月，恒普科技同時推出2款8英寸雙線圈感應(yīng)晶體生長爐，新推出的2款全新爐型，對應(yīng)SiC感應(yīng)晶體生長爐在8英寸或更大尺寸上的劣勢，也積極對應(yīng)行業(yè)客戶的使用習(xí)慣和經(jīng)驗延續(xù)。
在碳化硅8英寸時代到來之際，隨著坩堝的直徑增長，感應(yīng)線圈只能加熱坩堝的表面，不同位置的徑向溫度梯度都會隨之增大，而這樣的參數(shù)變化不適合大直徑的晶體生長。恒普科技在6月推出了新一代2.0版SIC電阻晶體生長爐，以【軸徑分離】+【新工藝】為核心技術(shù)，更優(yōu)化解決晶體的長大、長快、長厚的行業(yè)需求。這就突顯SiC感應(yīng)晶體生長爐的技術(shù)落后，為了對應(yīng)行業(yè)客戶的使用慣性及Know-How的延續(xù)，恒普科技推出了雙線圈感應(yīng)晶體生長爐，并且同時推出石英管（雙線圈外置）和金屬殼（雙線圈內(nèi)置）兩款全新爐型。
雙線圈的技術(shù)并不是新的技術(shù)路線，但是雙線圈的相互干擾，特別是在坩堝中的發(fā)熱互相干擾，對工藝調(diào)整存在很大難度，物質(zhì)流傳輸及通道沉積都存在難點，為了克服8英寸感應(yīng)晶體生長爐的問題點，恒普科技解決了雙線圈對石墨坩堝的溫度上下無法分離，做到了【準(zhǔn)軸徑分離】，并將技術(shù)同時使用在了兩種爐型上，滿足更多客戶的使用習(xí)慣。
》》核心技術(shù)
·坩堝區(qū)域溫度分離 （相對分離）
·采用特殊定制石墨硬氈
·雙水平式線圈
·獨特的二次發(fā)熱體
·坩堝與熱場分離
·物質(zhì)流的傳輸導(dǎo)流控制
注：以上功能不是2款爐型都有。
》》產(chǎn)品&技術(shù)特點
一、SiC石英管雙線圈（外置）感應(yīng)晶體生長爐
技術(shù)特點：
·坩堝區(qū)域溫度分離
·方便原工藝過渡
·水平螺旋線圈，提高磁場平衡與雙線圈匹配
二、SiC金屬殼雙線圈（內(nèi)置）感應(yīng)晶體生長爐
技術(shù)特點：
·爐下方向出料，解決8英寸坩堝上取料的不便
·出料時，坩堝與熱場自動分離，提高爐次的重復(fù)性
·獨特的二次發(fā)熱體
·優(yōu)化內(nèi)置線圈絕緣
·橫向多點測溫
·采用特殊定制石墨硬氈
▲寧波恒普真空科技股份有限公司
寧波恒普真空科技股份有限公司是一家以材料研究為基礎(chǔ)，以高溫?zé)釄霏h(huán)境控制為技術(shù)核心的金屬注射成形（MIM）領(lǐng)域和寬禁帶半導(dǎo)體領(lǐng)域的關(guān)鍵設(shè)備供應(yīng)商，主要從事金屬注射成形（MIM）脫脂燒結(jié)爐、碳化硅晶體生長爐、碳化硅同質(zhì)外延設(shè)備等熱工裝備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。
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