- 半導體硅晶圓廠環球晶圓日前宣布，與晶圓代工廠格芯（GlobalFoundries）簽訂合作備忘錄，環球晶圓將長期供應12英寸絕緣層上覆硅（SOI）晶圓給格芯。
- 關鍵字：
環球晶圓 格芯 SOI晶圓
- 不久前在日本京都舉行的VLSI技術研討會上提交的研究結果顯示，采用超薄襯底的SOI晶圓和22納米工藝制造的器件和采用體硅晶圓、22納米工藝制造的器件相比，性能的提高達到了25%。包括MEMC、SEH、Soitec等在內的幾家主要SOI晶圓供應商表示，他們已經為超薄襯底的SOI晶圓的規模化生產做好了準備。這些絕緣層上硅的厚度只有不到10納米，而且均勻性控制在艾米量級SOI晶圓對生產合格的全耗盡型晶體管是至關重要的。
- 關鍵字：
SOI晶圓 22納米
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