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我國“超級針”X射線成像系統成功實現自主研制

• 　　近日，中國電科38所發布自主研制的新一代無損檢測設備——“超級針”X射線成像系統，這是全國首臺“超級針”X射線成像系統。該系統擁有“火眼金睛”般的缺陷檢測能力，成像分辨率小于1微米。　　隨著集成電路向高集成度、微型化方向發展，先進封裝工藝對封裝檢測設備提出新的需求和挑戰。一方面，更精細的封裝尺度要求設備分辨率提升至亞微米級，但目前國際上可生產亞微米級分辨率設備的廠商屈指可數;另一方面，隨著芯片制造及封裝過程中越來越多地使用硅、鋁、銅、陶瓷等輕元素材料，對輕元素材料的檢測需求日益凸顯，對設備檢測范圍提出
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