- 摘要：本文設計了頻率及輸出功率可調的表面波等離子體激勵源， ADF4360-7產生850MHz~950MHz頻率的振蕩信號， ADL5330、兩級功率放大器、AD8318和C8051F020控制輸出功率。實現了表面波等離子體的激發。關鍵詞：表面波；等離子體；激勵源
引言利用微波在介質表面激發出截止密度以上的等離子體，然后微波在介質與等離子體間形成表面波的傳輸，具有一定電場強度的表面波在其傳輸的范圍內可生成和維持高密度的等離子體，因此稱為表面波等離子體。將微波導入一介質管，在介質管壁上激發出表面波傳輸，即
- 關鍵字：
嵌入式系統 單片機 表面波 等離子體 激勵源 測試測量
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