- 本文基于濺射薄膜技術研制微壓傳感器，充分發揮濺射薄膜技術優勢，通過改進芯體結構解決了輸出靈敏度低的難題。使用PGA900信號調理器對薄膜微壓傳感器進行信號調理，通過內置算法實現傳感器溫度補償和性能優化。經過試驗驗證，傳感器的性能穩定、輸出特性良好，達到了同類產品的較高水平。
- 關鍵字：
PGA900 微壓傳感器 濺射薄膜 信號調理 202201
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