- 應用材料公司推出Applied DFinder檢測系統，用于在22納米及更小技術節點的存儲和邏輯芯片上檢測極具挑戰性的互連層。作為一項突破性的技術，該系統是首款采用深紫外(DUV)激光技術的暗場檢測工具，使芯片制造商具有前所未有的能力，在生產環境中檢測出圖形化晶圓上極小的顆粒缺陷，從而提高產品良率。DFinder系統專門針對互連層的檢測而設計，因此總擁有成本比其它暗場檢測系統最多可降低40%。這對芯片制造而言是一項非常關鍵的優勢，因為在這個過程中可能會涉及50多個獨立的檢測步驟。
- 關鍵字：
應用材料 深紫外激光技術
深紫外激光技術介紹
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