- 使用四種非離子表面活性劑分別添加到以SiO2水溶膠為磨料、H202為氧化劑的堿性Cu拋光液中進行拋光實驗。結果表明，所選用的非離子型表面活性劑對材料去除率的影響不大，當烷基酚聚氧乙烯醚在質量分數為0．25％時，拋光表面質量提高，表面粗糙度(Ra)由1．354 nm下降到了0．897 6 nm，同時有效地減輕了Cu拋光表面的劃痕和腐蝕，其原因是聚氧乙烯鏈可以通過醚鍵與水分子形成氫鍵，在聚氧乙烯周圍形成一層溶劑化的水膜保護了被吸附表面。
- 關鍵字：
ULSl 離子 活性劑 拋光
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