- 0引言
微驅動器作為微機電系統(MEMS)的驅動部件，已得到廣泛研究。近年來，采用硬磁和軟磁材料構成的驅動器在微機電系統和微光機電系統中受到了越來越多的關注，這主要由于電磁驅動方式能夠在較大的范圍內提供足夠的驅動力，并且能夠進行遠程驅動控制，響應速度快。尤其是硬磁材料在被充磁后可以用于制作雙向驅動器，采用一個永磁體和電磁線圈構成的電磁鐵即可構成雙向的微型電磁驅動器，這可簡化微驅動器的結構，充分利用微驅動器中的有限空間。通過改變電磁線圈驅動電流方向在兩個磁體之間產生的吸引力和排斥力，可作為雙向微驅
- 關鍵字：
MEMS 微驅動器 微機電 微光機電
微驅動器介紹
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