平面集成天線(xiàn) 文章 最新資訊

基于MEMS工藝的八角形前腔 亞毫米波集成喇叭天線(xiàn)

• 亞毫米波平面集成天線(xiàn)在亞毫米波頻段具有其獨(dú)特的優(yōu)勢(shì)，然而平面集成天線(xiàn)單元的增益較低，本文研究了一種工作于900GHz的新型的亞毫米波集成喇叭天線(xiàn)，用于增強(qiáng)平面集成天線(xiàn)單元的輻射性能。該喇叭天線(xiàn)的加工綜合運(yùn)用MEMS干法刻蝕和濕法腐蝕兩種工藝，其結(jié)構(gòu)包括棱錐形喇叭背腔和八角形喇叭前腔兩部分，在可實(shí)現(xiàn)的MEMS工藝下，具有可調(diào)參數(shù)多的優(yōu)點(diǎn)。
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