- 自1990年代中期，銅（Cu）一直用于后段制程，作為內連導線（interconnect）與通孔（via）的主流金屬材料。這些年來，銅材在雙鑲嵌整合制程上展現了長年不敗的優良導電性與可靠度，因此過去認為在芯片導線應用上無需替換這位常勝軍。但隨著技術世代演進，局部導線層持續微縮，關鍵組件層的線寬降至10nm以下。偏偏在這樣的小尺寸下，銅材的電阻會急遽增加，進而影響電路的整體性能。銅世代告終？此外，銅材需要阻障層（barrier）、襯墊層（liner）與覆蓋層（cap layer）才能維持良好的可靠度；這些外加
- 關鍵字：
埃米 導線材料 金屬化合物 imec
- 隨著半導體發展腳步接近未來的14埃米，工程師們可能得開始在相同的芯片上混合FinFET和納米線或穿隧FET或自旋波晶體管，他們還必須嘗試更多類型的內存;另一方面，14埃米節點也暗示著原子極限不遠了…
在今年的Imec技術論壇(ITF2017)上，Imec半導體技術與系統執行副總裁An Steegen展示最新的半導體開發藍圖，預計在2025年后將出現新工藝節點——14埃米(14A;14-angstrom)。這一工藝相當于從2025年的2nm再微縮0.7倍;
- 關鍵字：
半導體 埃米
- 隨著半導體發展腳步接近未來的14埃米，工程師們可能得開始在相同的芯片上混合FinFET和奈米線或穿隧FET或自旋波電晶體，他們還必須嘗試更多類型的存儲器;另一方面，14埃米節點也暗示著原子極限不遠了…
在今年的Imec技術論壇(ITF2017)上，Imec半導體技術與系統執行副總裁An Steegen展示最新的半導體開發藍圖，預計在2025年后將出現新制程節點——14埃米(14A;14-angstrom)。這一制程相當于從2025年的2nm再微縮0.7倍;此
- 關鍵字：
Imec 埃米
埃米介紹
您好，目前還沒有人創建詞條埃米!
歡迎您創建該詞條，闡述對埃米的理解，并與今后在此搜索埃米的朋友們分享。
創建詞條
關于我們 -
廣告服務 -
企業會員服務 -
網站地圖 -
聯系我們 -
征稿 -
友情鏈接 -
手機EEPW
Copyright ?2000-2015 ELECTRONIC ENGINEERING & PRODUCT WORLD. All rights reserved.
《電子產品世界》雜志社 版權所有 北京東曉國際技術信息咨詢有限公司
京ICP備12027778號-2 北京市公安局備案：1101082052 京公網安備11010802012473
