- 亞毫米波平面集成天線在亞毫米波頻段具有其獨特的優勢，然而平面集成天線單元的增益較低，本文研究了一種工作于900GHz的新型的亞毫米波集成喇叭天線，用于增強平面集成天線單元的輻射性能。該喇叭天線的加工綜合運用MEMS干法刻蝕和濕法腐蝕兩種工藝，其結構包括棱錐形喇叭背腔和八角形喇叭前腔兩部分，在可實現的MEMS工藝下，具有可調參數多的優點。
- 關鍵字：
亞毫米波 平面集成天線 MEMS 集成喇叭天線
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