光學反射式分布測量技術淺析
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3.3 干涉探測技術[5]
干涉探測在高分辨率、高探測靈敏度的光纖鏈路、光波導及其它光器件的結構檢查中有優異的性能表現。
（8） λ0是光源中心波長，δλ是光源的譜寬。
四、總結
以上介紹了光反射探測的基本原理及實現方法，著重分析了幾種改進的探測技術，討論了反射探測應用于小尺度測量時最關注的探測分辨率問題。相關探測利用互補碼調制探測信號，達到抑制噪聲的目的，需要額外的編碼發生器及信號處理器，其分辨率由光源脈沖寬度及探測動態范圍決定。光頻域探測用頻率變化探測鏈路光學特征，有較高的分辨率及動態范圍，但對頻率的線性調制有較高要求，頻率線性控制難度大，對測量信號要進行Fourier變換計算，其分辨率由頻率變化間隔決定，測量精度可達到毫米精度。干涉探測利用光的干涉特性進行測量，有高分辨率、高動態范圍的特點，結構較為簡單，需要相干時間短的穩定光源，理論分辨率由光源相干長度決定，實際還要受移動控制機構精度影響，測量精度可達到微米精度。幾種探測技術的分辨率決定因素不同，在實現方法上各有特點。
五．參考文獻
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